低成本的高分辨率磁编码器的研制.pdfVIP

研 究 动 态 Research＆Development 低 成本 的高分辨率磁编码器 的研制 d 田跃 和文 彦林 裴励 口 7／ 注：本项 目为国家 自然科学基金项 目 速测量 的材料关键传感器，其作用原理如 图 1所示 。 摘要：高分辨率磁敏 电阻式编码器的研制综合 了功 能材料制备、薄膜技术应用、半导体加工工艺、塑 前 位 圳 圳 电动机 蝻玛嚣 章脉冲棵测嚣 靠 移 料永磁磁鼓的制备、现代 电子技术和传感器设计等 系 控 统 制 一 多种高新技术。磁敏 电阻是对磁通量变化灵敏度非 坩量性 幸誊 信号 信号 常高的敏感元件，本文讨论了具有磁敏电阻传感器 元件和多极磁化磁鼓结构的高分辨率增量型磁编 码器的研制过程。磁编码器结构紧凑 ，性能稳定， 图 l 磁编码 器的作用原理 图 随 … ： ， 、 燮 、 A 一 述 ． 器 随着当今科学技术和知识经济 的发展，高新技 数控机床、微细加工 、半导体制造机械 、工业机器 人、起重机械 、轧钢机械 、高速 电梯 、矿山机械、 术 已不断引入 国民经济的各个领域 ，特别是工业 自 纺织机械、印刷机械、航空航天 以及军事工业等 自 动化监测、控制技术与计算机技术的结合越来越广 动化技术领域。最近 ，编码器的应用又扩展到办公 泛。作为感知、采集、转换、传输与处理各种信息 自动化 (OA)领域 的打印机、复印机、图像析像 的传感器及其系统的发展趋势也逐渐从传统的模 仪、三坐标测量机、家用 电器和精密测量仪器如流 拟量向数字量转化 。编码器是数字式传感器中最重 量、液位 、张力 、扭矩 、物位等领域Ⅲ 【。 目前 ， 要、最基础 的结构形式之一，它是将机械运动中转 编码器的需求量 日益增长 ，光学编码器则一直 占主 度、位移、转速等物理量转变为数字化脉冲 电信号 导地位 。 的一类传感器 。它与数字处理技术和计算机技术相 八十年代后期 ，特别是进入九十年代以来，新 结合，可实现快速 、及时、准确地检测与控制。编 的检测原