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第 25 卷　第 5 期 摩 擦 学 学 报 25, 　 5 V o l N o 2005 年 9 月 TR IBOL O GY Sep , 2005 微机电系统磨损特性研究进展 张文明, 孟　光 (上海交通大学 振动、冲击、噪声国家重点实验室, 上海　200030) 摘要: 对微机电系统, 尤其是微旋转机械的磨损研究现状进行评述, 介绍M EM S 及微旋转机械中的各种磨损问题, 分 ( ) 析材料和不同工况 表面粗糙度、环境以及载荷 等条件对M EM S 及微旋转机械磨损性能的影响, 介绍不同形式的磨 损模型、分析方法与检测仪器, 并对相关领域的研究进展进行展望. 关键词: 微机电系统( ) ; 磨损性能; 表面改性 M EM S 中图分类号: T P 202; TH 117. 2 文献标识码: A 文章编号: (2005) 　　微机 电系统( ) 是科技发展的前沿, 在生 　　 图 1 所示为某发动机的磨损失效形貌 照 M EM S SEM 物、医学、航天及航空工业等领域具有广泛的应用价 　　　 值. 微旋转机械是M EM S 中主要的驱动装置和动力 源, 具有广阔的应用前景. 同宏观机械系统一样,M EM S 中也存在着磨损 失效问题, 磨损无疑限制并危及着M EM S 的性能和 [ 1～ 3 ] 可靠性 . 对于M EM S 来说, 由于其尺度效应而使 表面积增大, 接触面更平滑, 且与宏观磨损机理明显 F ig 1　SEM im age o f a fa iled m icro eng in e 不同. 图 1　微发动机磨损失效 SEM 照片 目前, 对微尺度、低表面粗糙度和轻载作用下 M EM S 及微旋转机械的磨损机理研究和分析模型的 片. 可见在齿轮上出现磨屑, 特别是缝隙中的磨屑较 建立还很少涉及. 微尺度下M EM S 及微旋转机械的 [ 8 ] 多 . 图2 示出了微发动机齿轮、枢轴和凸缘的磨损 磨损研究正成为磨损分析的一个新分支. 　　　 1　微机电系统磨损问题 磨损影响M EM S 中微旋转机械的性能, 使微机 构丧失功能而导致完全失效[ 1, 2, 4～ 6 ]. 因此, 最大限度 降低磨损乃至实现无磨损条件, 是保证微旋转机械及 M EM S 功能和寿命