二维平台的误差如何有效进行实验得出.pdfVIP

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2015-10-11 发布于重庆
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二维平台的误差如何有效进行实验得出.pdf

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二维平台的误差如何有效进行实验得出

计量检测：基于自校正的三坐标机二维平台误差测量技术* 1，2 1 1 1 1 ，，，，王道档邹慧郭天太王晓晓刘维 (1． 310018 ;2 ． ( ) 300072) 中国计量学院计量测量工程学院杭州精密测试技术及仪器国家重点实验室天津大学天津 : ，。摘要针对三坐标测量机二维平台的高精度校正问题提出了一种基于自校正算法的二维平台误差测量方法利用精度要，求低于或等于待测平台的刚性栅格板测量二维平台上多个位姿点的坐标根据基于最小二乘法的自校正算法得到待测平台的，。，，二维平台误差并对实验结果进行了不确定度分析与验证实验结果表明利用该方法可有效地获得待测二维平台误差测量。，，精度可达到亚微米量级所提出的三坐标测量机平台误差测量方法具有较高的可靠性无需昂贵的专用高精度辅助装置在三坐标测量机二维平台误差的测量和校正中具有较好的实用性。 : ; ; ; ; 关键词自校正算法坐标测量机最小二乘法栅格板误差测量中图分类号:TH161． 5 文献标识码:A 国家标准学科分类代码:460 ． 40 Error measurement technique for two-dimensional stage of three-coordinate measuring machine based on self-calibration algorithm 1，2 1 1 1 1 Wang Daodang ，Zou Hui ，Guo Tiantai ，Wang Xiaoxiao ，Liu Wei (1． College of Metrology and Measurement Engineering ，China Jiliang University ，Hangzhou 310018 ，China ; 2． State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments (Tianj in University)，Tianj in 300072 ，China) Abstract :Aiming at the high precision calibration problem of the two-dimensional stage of three coordinate measuring machine two-dimensional stage ，an error measurement method for two-dimensional stage of three-coordinate measuring machine based on self-calibration