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镍钛合金表面沉积TiN/Ti 微纳米多层膜的性能研究
1 1 1,3 1 2,3 2
唐慧琴 ，万荣欣 ，顾汉卿 ，刘 欣 ，李德军 ，董 磊
（1. 天津医科大学天津市泌尿外科研究所，天津 300211；2. 天津师范大学，天津 300387；
3. 上海交通大学医学院附属第九人民医院，上海 200011 ）
摘要：本文用磁控溅射方法在先天性心病封堵器材料—镍钛合金(NiTi)形状记忆合金表面沉积TiN/Ti 纳米多层膜
薄膜以提高其表面性能。用SEM、AES 、表面硬度分析薄膜表面性能，用电化学腐蚀方法分析其表面耐腐蚀性能，
并用电感耦合等离子体原子发射光谱法检测镍离子溶出量。结果表明，具有特殊纳米交替结构厚度为 9μm 的
TiN/Ti 多层膜，可以使表面修饰后的镍钛合金机械力学性能和耐腐蚀性提高；同时镍离子的渗出量减少，以利于
降低镍钛合金中Ni 的过敏和潜在致癌性危害。
关键词：材料表面与界面，镍钛合金，磁控溅射，TiN/Ti 涂层，细胞毒性
Influenceof TiN/Ti Nano-multilayers Composited on Medical
NiTi Shape Memory Alloy
1 1 1,3 1
TANG Huiqin , WAN Rongxin , GU Hanqing , LIU Xin ,
LI Dejun2,3, DONG Lei2
（1. Tianjin Institute of Urological Surgery, Tianjin Medical University, Tianjin, 300070, China ；2.
Tianjin Normal University, Tianjin, 300387, China ；3. Ninth People’s Hospital,
Shanghai Jiao Tong University, Shanghai, 200011, China)
Abstract: A new surface modification of TiN/Ti multilayers has been developed to improve the surface
properties of bio-medical nickel titanium (NiTi) shape memory alloy with multi-target magnetron
sputtering system. The surface properties were characterized by scanning electron microscopy (SEM),
auger electron spectroscopy (AES), surface hardness, electrochemical measurement and Ni ion release
test. Our results indicate that nano-structured TiN/Ti coating with a total thickness of 0.9 µm was
deposited on NiTi shape memory alloy. TiN/Ti nano-multilayers have increased hardness and corrosion
resis
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