膜内异物膜伤调查.pptVIP

建议 将通道口门打开（已实施）； 增加除静电装置（已实施）； 在粘尘滚筒前增加喷气装置，并撤去两侧粘尘膜，减少空气对外阻力。（已实施）； 取消CES-2粘尘滚筒前的滚筒； CES-2粘尘滚筒前上部加装遮挡薄膜 将粘尘滚筒与保护膜滚筒的距离拉近，减少后部异物再混入的可能； 粘尘滚筒及时清洁；（CES-2粘尘滚筒比CES-1的脏，粘尘滚筒本身的洁净能力有限，对于大颗粒粉尘需从整体环境入手） 遮挡用的普通PE膜更替为粘性PE膜（及时更替）； CES-2 膜内异物/膜伤调查 ES技术开发部 更新日2013-4-11 时间：2013-4-8 对象：CES-2 上表面L-7232膜伤（如下图） 发生概率：全损比率的10% 膜伤调查 膜伤（正面反光） 膜伤（侧面反光） 膜伤调查 问题：如何判断膜伤是膜本身伤还是压伤后脱落形成？ 说明：压伤发生在贴膜之后。所以压伤的板，膜表面无长长的拖尾现象。而如果膜本身有伤，则会因为贴膜时候膜的拉力，造成膜破的地方被拉长，形成上述拖尾现象。 压伤 膜本身伤 膜本身伤 拖尾现象 膜伤调查 说明：4-8发生的膜破，仔细观察发现，膜表面有较为明显的拖尾现象，以此可初步判断是由膜本身所造成的。 保护膜本身观察 在无尘室保护膜上游观察了残留卷心处保护膜（10m），以及正在使用的保护膜，未发现膜破/黑点异物/纤维状异物。 膜内异物调查 时间：2013-4-8 对象：CES-2 上表面L-7232膜内异物（如下图） 发生概率：全损比率的20%（4-11后更多） 第一种：黑点状异物 第二种：纤维状异物 膜内异物调查 宏观观察：撕膜后，在膜及板本身都留存有一定程度的黑色异物。异物呈粉末状，较软。 膜内异物调查 方法①：显微观察（反射照片） 长度：3mm 宽：0.032mm 全长约6mm 长度小于15mm的纤维状异物都判定OK 长度：0.37mm 宽：0.30mm 方法②：IR分析，样品比对 膜内异物调查 黑色膜内异物 喷嘴异物 编号① 编号③ 气管异物 编号② 现场采样 编号④ 编号⑤ 方法②：IR分析，样品比对 膜内异物调查 编号⑥ 编号⑦ 现场采样 纤维状膜内异物 白色纱布 膜内异物调查 方法②：IR分析，样品比对 喷嘴异物 编号① 气管异物 编号② 膜内异物 现场采样 编号③ 编号④ 编号⑤ 数据库疑似硝酸铝 数据库无相似图谱 数据库疑似MMA 数据库无相似图谱 数据库疑似橡胶带 膜内异物1（棕色） 膜内异物2（白色） 膜内异物3（透明） 现场采样与膜内异物IR图谱均不相同 数据库疑似图谱比对 膜内异物调查 编号③黑色膜内异物 编号④透明膜内异物 数据库硝酸铝图谱 数据库MMA图谱 比较相似 几乎一样 数据库疑似图谱比对 膜内异物调查 编号⑦膜内纤维异物 数据库人体污染图谱 比较相似 因为查找出膜内纤维状异物相似图谱，所以未调查纱布IR图谱 4-11新增4例纤维状膜内异物 编号⑧ 编号⑨ 编号⑩ 编号? 6.05mm×0.03mm 3.45mm×0.017mm 16mm×4mm 0.647mm×0.541mm 数据库疑似图谱比对 4-11新增4例纤维状膜内异物 非常相似 编号⑧膜内纤维异物 数据库纤维图谱 数据库疑似图谱比对 4-11新增4例纤维状膜内异物 非常相似 编号⑨膜内纤维异物 数据库纤维图谱 数据库纤维图谱 数据库疑似图谱比对 4-11新增4例纤维状膜内异物 非常相似 编号⑩膜内纤维异物 数据库PE图谱 数据库疑似图谱比对 4-11新增4例纤维状膜内异物 非常相似 编号?膜内线头异物 数据库PET图谱 数据库PET图谱 膜内异物调查 结合4-11新发现的样本作成以下统计表 膜内异物 送样日期 尺寸 外观 IR 推测可能物质 黑点异物① 2013/4/9 0.37mm×0.30mm 棕色小颗粒 疑似硝酸铝 不知道 黑点异物② 2013/4/9 未测 白色 无类似图谱 不知道 黑点异物③ 2013/4/9 未测 透明粉末 MMA 扩散板表层粒子 黑点异物④ 2013/4/10 0.4mm×0.308mm - 聚氨酯 现场依赖分析中经常出现的 黑点异物⑤ 2013/4/10 2.352mm×0.226mm - 不明38 分析室曾经遇到的不明物质38号 纤维状异物① 2013/4/9 3mm×0.032mm 纤维 人体污染 毛发 纤维状异物② 2013/4/10 2.86mm×0.03mm 纤维 PET 无尘布、无尘服、PET膜、传送带等。 纤维状异物③ 2013/4/10 7.08mm×0.03mm 纤维 纤维 工作服、无尘纸等 纤维状异物④ 2013/4/11 6.05mm×0.03mm 纤维 纤维 工作服、无尘纸等 纤维状异物⑤ 2013/4/11 3.45mm