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《《溶胶凝胶制备纳米多孔SiO2光学增透薄膜》》.pdf
第36卷第4/ 5期 原 子 能 科 学 技 术 Vol. 36 ,No. 4/ 5
2002年7月 Atomic Energy Science and Technology J uly 2002
溶胶凝胶制备纳米多孔 SiO2 光学增透薄膜
耐磨特性强化研究
吴广明 ,沈 军 ,王 珏 ,周 斌 ,倪星元
( 同济大学 波耳固体物理研究所,上海 200092)
摘要 :在溶胶凝胶基础上 ,采用碱/ 酸两步法和浸渍镀膜技术制备出纳米多孔 SiO2 薄膜 ,并将该薄膜在
空气和氨气与水蒸气的混合气体中热处理。使用透射电子显微镜、原子力显微镜、傅立叶红外光谱仪、
椭偏仪、分光光度计等分析了薄膜的特性。实验结果表明 :采用碱/ 酸两步催化法能够明显提高纳米多
孔 SiO2 光学增透薄膜的力学特性 ,混合气体中的热处理又使其力学性能得到进一步改善。薄膜耐磨等
力学性能增强归因于 SiO2 颗粒间更多的化学键合。在力学性能增强的同时 ,薄膜折射率仍保持约 124
的较低值 ,光学增透效果良好 ,透射率 ≥995 % 。
关键词 :溶胶凝胶技术 ;增透薄膜 ;纳米多孔结构 ;SiO2 薄膜
中图分类号:O484 文献标识码 :A 文章编号 (2002) 04/
Strengthening Investigation of Antireflective Nanoporous
Silica Films Derived by Base/ Acid Twostep Solgel
Process and Mixed Atmosphere Treatment
WU Guangming , SHEN J un , WAN G J ue , ZHOU Bin , N I Xingyuan
( )
Pohl Institute of Solid S tate Physics , Tongji U niversity , S hanghai 200092 , China
Abstract : A new method to improve the mechanical properties of nano porous silica films is
reported. The thin films are prepared using the base/ acid twostep catalytic solgel process
and the dipcoating method , and then annealed in the mixed gas of ammonia and water
vapor. The films are characterized with TEM , AFM , FTIR , spectrophotometer and ellip
sometery , respectively. The experimental results show that the twostep catalysis remark
ably strengthens the films , and the scratchresista
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