《《第3章+薄膜的物理气相沉积II》》.ppt

第一节 气体放电现象与等离子体 一、气体放电现象 二、气体放电过程 三、辉光放电现象及等离子体鞘层 四、非自持放电与自持放电 一、气体放电现象 (gas discharge) 原子激发能（excitation energy）: 原子中电子从基态能级激发到激发态能级所需能量。 原子电离能（ionization energy）：原子在外界因素作用下失去一个或几个电子而形成自由电子和正离子所需要的能量。碰撞电离、光电离（中性复合、激发态恢复导致分级电离）、热电离。 金属（阴极）表面电离能（逸出功work function，work of emission ）: 金属表面释放电子所需能量。正离子碰撞阴极（一个以上电子）、光电效应、强场（103kV/cm）发射（field emission）、热电子发射。 气体放电中的碰撞过程 等离子体中高速运动的电子与其他粒子的碰撞是维持气体放电的主要微观机制。 1、弹性碰撞 2、非弹性碰撞 1、弹性碰撞 参加碰撞的粒子的总动能E和总动量P保持不变，并且不存在粒子内能的变化，即没有粒子的激发、电离或复合过程发生。 在两个粒子的弹性碰撞过程中，运动着的粒子1将部分动能转移给静止着的粒子2，碰撞后的能量满足如下的关系: 2、非弹性碰撞 碰撞过程中有部分电子动能将转化为粒子的内能增加ΔU，其最大值为: （3）分解反应： 在这一碰撞过程中，分子被分解成为两个反应基团，其化学活性将远高于原来的分子。 二、气体放电基本过程 假设有一个直流放电系统，设电极之间电动势为E，直流电源提供电压V和电流I，并以电阻R作为限流电阻，则 V=E-IR 3、当电压继续升高时：离子与阴极之间以及电子与气体分子之间的碰撞变得重要起来。 1) 电子碰撞开始导致气体分子电离， 2) 离子对于阴极的碰撞产生二次电子 结果：碰撞过程导致离子和电子 数目呈雪崩式的增加。这时，放电电流 I 迅速增加，电压U变化不大。这种放电过程被称为汤生放电（Townsend discharge）。 （2）异常辉光放电 电流的继续增加将使得辉光区域扩展到整个放电长度上，辉光亮度提高，电流增加的同时电压也开始上升。这是由于放电已扩展至整个电极区域以后，再增加电流就需要相应地提高外电压。 （注：一般溅射法常采用异常辉光放电，实现大面积均匀溅射和薄膜沉积。） 5、随着电流的继续增加，放电电压将再次突然大幅度下降，电流剧烈增加。表明等离子体导电能力进一步提高。等离子体分布区域发生急剧收缩，阴极表面开始出现很多小的、孤立的电弧放电斑点。这 时，放电现象开始进入电弧放电阶段(arc discharge)。 辉光放电时区域的典型划分： 暗区相当于离子和电子从电场获取能量的加速区。 辉光区相当于不同粒子发生碰撞、复合、电离的区域。 阴极辉光是由向阴极运动的正离子与阴极发射出的二次电子发生复合所产生的。 阴极暗区是二次电子和离子的主要加速区,该区电压降占整个放电电压的大部分。 负辉区是发光最强的区域，是已获加速的电子与气体原子发生碰撞而电离的区域。 等离子体是具有一定导电能力的气体。它是一种由离子、电子以及中性原子和原子团(cluster)组成，而宏观上对外呈现出电中性的物质存在形态。 是物质存在的又一种聚集态。所以人们又把等离子体称为物质的第四态，或称为等离子态。 电子与离子具有不同速度的一个直接后果是形成所谓的等离子鞘层(sheath)，即任何处于等离子体中或其附近的物体都呈现出负电位，并且在物体的表面附近出现正电荷积累。 气体击穿电压： 汤生放电理论的适用范围：气压较低、pd值较小。pd过小或过大，放电机理将出现变化。 均匀电场气体放电的汤生放电理论 非自持放电电流　I=I0eαd，其中α为电离系数 ： 非弹性碰撞过程的分类 α过程：电子碰撞电离引起电子崩； β过程：正离子碰撞电离引起离子崩； γ过程：正离子撞击、光电效应引起阴极表面电离 综合考虑α过程和γ过程后的放电电流 I=I0eαd/[1-γ(eαd -1)] 系数 γ表示折算到每个碰撞阴极表面的正离子，阴极金属平均释放出的自由电子数。 自持放电条件： γ(eαd -1)＝１， γeαd ≈1