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磁控溅射技术和透明导电薄膜 薄膜的种类及应用 磁控溅射技术原理及应用 透明导电薄膜性能及应用 薄膜： 在固体表面上镀上一层于基体材料不 同的薄层材料。 厚度通常在几微米以下。 薄膜的种类及应用 电子工业：电极、电阻膜、电介质膜、绝缘膜、 透明导电膜、超导膜等。 光学工业：荧光膜、反射膜、增透膜、干涉膜 等。 机械工业：硬化膜、耐热膜、耐腐蚀膜等。 能源工业：聚热膜、防反射膜、透射膜等。 传感器：热敏、气敏、压敏、氧气传感器、红 外线传感器等。 其它：装饰膜等。 电学薄膜 光学薄膜 机械薄膜 装饰薄膜 薄膜的制备手段 气相法： 化学气相沉积（CVD ） 物理气相沉积（PVD）——热蒸发 溅射 离子镀 分子束外延 液相法：化学镀、电镀、浸渍镀等。 其他方法：喷涂、涂敷等。 溅射原理 溅射示