《《薄膜5》》.pdfVIP

第五章 非晶薄膜 第五章 非晶薄膜 主要内容  非晶薄膜的亚稳态  非晶薄膜的晶化  固相外延 2 2 晶体 组成晶体的粒子在三维空间 中按照一定规律呈周期性的 有规则的排列。—— 晶格， 点阵 非晶 组成非晶的粒子在三维空 间中的排列具有强烈的无 序性。 3 3 广义的非晶态材料通常包括三大类  普通低分子非晶态材料，以非晶态半导体 和非晶态金属为主。 金属玻璃 以非晶硅为主,太 阳电池，TFTs  传统的氧化物和非氧化物玻璃。