《《薄膜材料a》》.pptVIP

第一章 绪 论 §1.1 薄膜的定义及特性 §1.2 薄膜材料研究现状 §1.1 薄膜的定义及特性 薄膜的历史，要追溯到一千多年以前。 近30年来，真正作为一门新型的薄膜科学与技术。 目前，薄膜材料已是材料学领域中的一个重要分支，它涉及物理、化学、电子学、冶金学等学科，在国防、通讯、航空、航天、电子工业、光学工业等方面有着特殊的应用，逐步形成了一门独特的学科“薄膜学”。 薄膜材料的合成：可用各种单质元素及无机化合物或有机材料来制作膜，也可用固体、液体或气体物质来合成薄膜。 薄膜不同于通常的气态、液态、固态和等离子态的一种新的凝聚态物质，可为气相、液相和固相或是它们的组合。 薄膜与块体一样，可以是单晶、多晶、微晶、纳米晶、多层膜、超晶格膜等。 也可以是均相的或非均相的，对称的或非对称的，中性的或荷电的。 本科程的研究对象 在固体表面（基片或衬底）上镀一层与基材不同的薄膜材料。 利用固体本身生成与基体不同的材料。 基片上的固态薄膜 薄膜（thin film） 薄膜这个词是随着科学和技术的发展而自然出现的，有时与类似的词汇“涂层”（coating）、“层”（layer）、“箔”（foil）等有相同的意义，但有时又有些差别。 薄膜是指尺度在某个一维方向远远小于其他二维方向，厚度可从纳米级到微米级的材料。 常常用厚度对薄膜加以描述。通常把膜层无基片而能独立成形的厚度作为薄膜厚度的一个大致的标