高功率轴快流CO2激光器高效稳定放电方法的研究.pdf

摘 要 高功率轴快流 CO2 激光器气体放电的稳定性和效率是制约轴快流 CO2 激光器向 更高功率发展的关键问题。为了在高功率轴快流 CO 激光器中获得高效稳定的气体放 2 电，论文对气体放电的特性及其相关问题进行了理论和实验研究。论文的主要内容包 括： (1) 对辉光放电的特征进行了分析，指出了影响辉光放电稳定性的几大因素，并 分析了在高功率轴快流CO 激光器中消除辉光放电不稳定性的措施。对激光器的电光 2 转换效率的影响因素进行了分析。 (2) 设计了用于直流激励的高压开关电源，制作了电源样机并进行了实验。实验 表明，电源可以工作在连续、脉冲、超脉冲三种模式下，电源效率85% ，并且不需 要串接限流电阻，提高了激光器整机的效率。直流放电电光转换效率达到24% 。对三 种直流放电管的流场特征进行了分析，并在4000W 的轴快流CO 激光器上对三种放电 2 管进行了实验研究。实验结果表明，理论模拟中流场均匀的放电管在SIMMER放电、 脉冲放电、高功率放电中均优于流场不均匀的放电管，在气体速度保证放电区域的温 升不足以影响激光器效率的情况下，这时提高气体流场的均匀性的效果要优于提高气 体流速。 (3) 建立了射频放电的理论模型，并通过数值方法计算了放电区内电子密度和电 场强度的空间分布。研究了射频放电的击穿特性和负载阻抗特性。分析了射频功率传 输理论，并根据理论计算所得到的负载阻抗，采用SMITH圆图法设计了射频放电的匹 配网络。 (4) 介绍了10kW射频激励轴快流CO2激光器的整体设计，进行了阻抗匹配的实验 研究，通过实验确定了匹配网络的最佳参数，在单台电源注入功率36kW 的情况下， 反射功率0.6kW 。采用两台电源并联激励，在注入功率45kW 的情况下，得到了稳定 的辉光放电，激光功率达到10kW，最高电光转换效率达到23.5% 。 (5) 对激光器及功率的稳定性进行了研究，设计了信号处理的滤波隔离电路，并 对气体放电的监测和保护系统进行了研究，采用电流反馈时功率波动 ±1.5%。同时 I 研究了基于尾镜取样的功率监测和反馈稳定系统，采用低损伤阈值和高响应速度的探 测器，并用积分球对尾镜透射光进行衰减和均匀化处理，采用模糊PID控制对功率进 行反馈。该系统功率检测线性好，反馈控制功率波动 ±0.5% 。 关键词：轴快流 CO2 激光器 辉光放电 直流激励 开关电源 射频激励 阻抗匹配 尾镜取样 II Abstract The stability and efficiency of the gas discharge in fast axial flow CO laser play an 2 important role in increasing the power. In order to make the gas discharge more stable and efficient, the theoretical and experimental study on the gas discharge has been done in this thesis. The contents of the thesis are arranged as follow: (1) The properties of the glow discharge have been investigated. The results show that the instability and thermal instability of