电负性容性合等离子体的诊断及空心阴极射频放电的研究.pdfVIP

电负性容性耦合等离子体的诊断及空心阴极射频放电的研究 中文摘要 电负性等离子体的诊断及空心阴极射频放电的研究 中文摘要 由于电负性等离子体在微电子工业、光电子器件以及半导体工业上的大量应用， 对其性质的研究一直是人们的关注所在。本文主要研究了在40.68MHz 单射频激发的 容性耦合Ar 等离子体中掺入不同的电负性气体O 、Cl 和SF ，形成混合的电负性等 2 2 6 离子体。并通过朗缪尔静电探针对其进行诊断测量，对电负性等离子体的参数特性进 行了研究分析。另外，自构建了一套13.56MHz 激发的基于圆筒型空心阴极射频等离 子体放电系统。对空心阴极放电等离子体的放电情况和对晶硅表面的制绒情况进行了 研究分析。 首先，利用悬浮型的微波共振探针对三种电负性的容性耦合等离子体在不同流量 比条件下进行了诊断并与朗缪尔静电探针的实验结果进行了对比分析。验证了朗缪尔 静电探针的诊断方法在实验测量范围内的可信度。 然后，利用朗缪尔静电探