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硕士论文 激光致介质击穿产生等离子体的机理分析 摘 要 本文从理论上研究了空气中激光烧蚀铝靶形成等离子体的机理，提出了相关理论 模型，并针对击穿阈值进行了实验研究。 首先总结了影响靶材击穿阈值的因素，从自由电子密度速率方程出发，考虑雪崩 电离机制和多光子电离机制，分析了初始电子密度对空气的击穿阈值的影响。通过比 较空气中靶材与靶表面空气击穿的阈值，证明了在空气中金属击穿阈值附近可以不考 虑空气的击穿。 在现有模型的基础上建立了一个标压下空气中1064nm波长的激光烧蚀铝靶形成 等离子体的一维理论模型。模型中将等离子体视为一种特殊流体，描述了热传导、蒸 气等离子膨胀、等离子体形成以及等离子体屏蔽等环节。模型中考虑了空气中氮的电 离、金属和空气混合物的粘滞系数、逆韧致吸收和多光子电离，以及混合物蒸气对靶 表面作用的动量冲量。根据这个模型，可以得到靶材内部的温度分布、蒸气密度、速 率及温度分布、金属的电离度、电子密度等参数。该模型也适用于击穿阈值附近的情 况。 分别通过干涉法、阴影法以及光偏转法等光学方法，对空气中激光击穿铝靶的阈 值进行测量。通过对高能量激光入射时产生