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2015-10-25 发布于贵州
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moems开关封装的设计与制作

MOEMS光开关封装的设计与制作 MOEMS光开关封装的设计与制作赵莉娜指导教师：梁静秋摘要全光网络解决了目前光电交换的瓶颈，光开关是实现全光网络中的关键技术之一。MOEMS光开关技术以其无法比拟的技术优势，将可能在下一代全光通信网络中起到主导地位。本论文正是围绕光开关的封装工作展开的，主要有以下四部分内容：首先，了解了光开关的发展进程，以及目前各种光开关的现状。其次，理论上研究了单模光纤激光高斯光束的传输特性；分析了球透镜准直器准直效果与束腰半径、束腰位置以及光纤和透镜端面之间的关系；在考虑光束直径、工作距离、数值孑L径NA等参数的基础上，设计了光路准直、耦合系统。接下来研究了硅的各向异性腐蚀特性：探讨了不同腐蚀溶液以及同一腐蚀液不同实验条件的区别；总结了腐蚀深度与腐蚀时间的关系；摸索了具体实验条件；解决了掩膜选择、凸角损伤等问题；制备了符合要求的准直、耦合封装系统。最后，分析了影响光开关插入损耗的主要因素，并采用了相应的解决措施。关键词：全光网络，MOEMS光开关，插入损耗，湿法腐蚀，封装 II ——————————————————竺竺坠!堕至墨!!茎竺堡苎量型竺 and Manufactue Design the Packaging of MOEMS Switch 0pticaI Zhao Lina(optics) Directed by：LiangJingqiu Abstract All networkshas optical becomeavend，andswitchisa optical key component thatCan controlthe onoroffinall light fiber opticalcornmunicationnetworks． MOEMS has switching technologypresent over unparalleled other advantages switches basedonMOEMS technologies．The willbecome technology maindevicein the