柱面镜光学通池的设计及在痕量气体探测中的应用.pdfVIP

摘 要 摘要 DiodeLaser 可调谐二极管激光吸收光谱技术(Tunable Absorption Spectroscopy)具有高灵敏度、高分辨率和快速响应等优点，在痕量气体探测方 面有着广泛的应用。TDLAS作为气体检测的先进手段，与长程光学多通池相结 合将会进一步提高探测灵敏度。本论文针对现代气体测量仪器小型化和高精度的 需求，设计了一种圆型柱面镜光学多通池，并与近红外二极管激光吸收光谱技术 相结合，分别对甲烷和二氧化碳气体进行了痕量探测。论文主要工作包括： 介绍了大气中痕量气体检测的意义，并对激光吸收光谱原理、不同的吸收线 型和气体吸收线选择等基本知识进行了介绍。 描述了传统多通池及其改进形式的原理和结构，在此基础上，详细说明了柱 mm，焦距250mm，镜面 面镜光学多通池的原理和设计，所用柱面镜直径为50 镀有保护金膜，其中一块镜片中心位置处有直径为4film的通光孔，通过调节前 后两柱面镜的间距和相对旋转角度，在镜面上实现了不同的光斑分布，得到了不 同的光程。该多通池具有结构紧凑，加工成本低，腔镜的有效利用面积高，与传 统多通池相比，能够在相同的基长下得到更长的吸收光程，进而提高系统的检测 极限。 建立了一套基于柱面镜光学多通池的TDLAS系统，使用中心波长分别为 1．65眦和1．57岬的DFB半导体激光器作为光源，采用直接吸收光谱方法对甲 rll的情况下，CH4 烷和二氧化碳气体进行了痕量探测，在气体吸收光程为13．8 最小可探测浓度达到了0．68 S平均时间)，C02最小可探测浓度达到 ppm(10，3．3 了63．3 S平均时间1，并对实际大气中的甲烷和二氧化碳气体进行了探 ppm(10，5 测。 关键词：可调谐二极管激光吸收光谱；光学多通池；柱面镜；甲烷和二氧化碳 痕量探测 万方数据 Abstract Abstract DiodeLaser been used Tunable widely AbsorptionSpectroscopy(TDLAS)has in withthemeritsofthe resolutionandfast tracedetection sensitivity，high gas high asadvanceddetection combinedwith time．TDLAS gas means，has long response cellto the atthe sensitivitydetection．Aiming opticalmultipassget higher path and in oftheminiaturization