控制波前传的三维环形光束变换器的设计.pdfVIP

珧15』幻 摘 要 三维环形光束变换器是将入射光束变换成在传播方向上有一定焦深的等光强环 形光束的器件，它在激光加工、热处理、光刻技术、光学材料制作、z扫描技术以及增 强光阱捕获力等各领域都有广泛应用，但直接产生环形光束十分困难，应用衍射光学 元件(DOE)可控制波前传播、设计自由度广、衍射效率高的特点，设计并研制出三维环 形光束变换器是可行的。本论文基于非传统衍射光学元件的设计理论，深入研究了模 型衍射光学元件设计中的应用，针对三种常见的三维环形光束变换器进行了模拟设计， 取得了有益的成果。 对DOE的相位分布采用直接量化设计，成功地实现了将入射的均匀平面波分别变换为 沿纵向调制的等光强单圆环光束、伴有中心亮点的圆环以及双圆环光束输出，并使输 进行了比较，在实验参数相同的情况下，SA--BIWP混合算法的衍射效率最高，在整 个三维纵向区域内，环内的能量占总输出能量的百分比都高达83％以上，在z=80mm～ 87ram中间区域内能量分布曲线比较平滑；在任意输出截面内，环内光强相对均匀， 没有能量旁瓣产生。模拟结果表明，模拟退火与迭代的混合算法抗局部干扰能力强、 不依赖于初始条件的选取，衍射效率高，对设计实现控制波前传播的非传统衍射光学 元件十分有效，具有良好的收敛性和通用性。 除此之外，论文还介绍了在GaAs材料上制作DOE的现状和发展，分析了该领域 近期的研究热点及重要成果，其中着重对现有刻蚀技术进行了介绍：然后以几种简单 成照明系统进行了检测，结果表明系统中DOE对LD的发散角特性有明显的改善。 综上所述，本文针对设计三维环形光束变换器进行了有意义的研究，在控制波前 传播的非传统衍射光学元件的设计理论和计算方法上进行了较为深入的探索，取得了 较好的理论设计结果。 关键词：衍射光学元件，波前变换，三维环形光束变换器，SA--BIWP混合算法。 Abstract can Thethree—dimensionalconvertoriSan elementthat convertan ring—beam optical tOa beamwithcertain inthedirectionof beam ring focal Itis input depth propagation usedin fieldssuchaslaser widely many machining，heattreatment，opticallithography， materials and is theeffectiveforces difficultto optical fabrication，Z—scan trap However,it a with conventionalmethodsAswe ring—beam goodquality know, produce directlyby diffractive controlthewavefront with opticalelements(DOE)can propagationhigh diffractive And can to