金离子注入化锌薄膜引起的改性研究.pdfVIP

中文摘要 通过磁控贱射法在玻璃基底上制备了厚度约为300nm的氧化锌薄膜，室温 下采用80keVAu离子对该薄膜进行注入，注入剂量为2×l015／cm2。制备态及注 oC。 入ZnO样品随后在氮气气氛下进行退火l小时，退火温度范围为100到700 借助于X射线衍射谱仪、X射线光电子能谱仪、紫外．可见二近红外分光光度计、 荧光分光光度计和原子力显微镜等多种测试分析手段研究了ZnO薄膜的结构、 表面形貌、化学成分和光学性质。研究结果表明：对于制备态的ZnO薄膜，高 温退火会使得薄膜的结构得到了明显的改善。具体表现在：晶粒长大和光学透射 率明显增加，同时光致发光强度也随着退火温度的增加而显著增加。金离子注入 会导致ZnO薄膜的表面结构受损和光学性能的恶化。随后退火至300oC，使得 薄膜的结构得到了明显的恢复，且光学性能得到了明显的改善。具体表现在：X 射线衍射主峰(002)、(103)随着退火明显增强，光学透射率明显增加，光致发光强 度也随着退火温度的增加而显著增加。进一步退火到600oC，X射线衍射主峰 (002)、(103)和光致发光强度虽然随着退火明显增