（ag）fag纳米薄膜的制备、微结构和磁特性研究.pdfVIP

摘要 探索和研究新型磁性材料的物性和微结构之间的关系一直以来都是磁学领域的 研究热点。尤其是近年来，伴随着器件的小型化，磁性器件单元的尺度越来越小，因 此纳米尺度受限体系的磁学性质的研究就显得尤为重要了。这些受限体系的磁组态往 往表现出新颖的物理现象，因而受到国内外同行的广泛关注。本论文利用对靶磁控溅 等对材料的磁特性和微结构进行了研究。取得的主要研究结果如下： 1． G 在室温下采用磁控溅射法制备了Ag(xnm)／Fe(35I吼)／Agnm)系列薄膜， Illrn。对样品的微结构和磁特性进行了研 覆盖层和衬底层的厚度石=1，2，3，4，和5 究。我们发现衬底层和覆盖层厚度对于样品的微结构和磁性能影响很大。Ag层厚度 Oe，粗糙度最小约为O．7。同时XRD衍射图谱证明 为3纳米时矫顽力最大约为135 磁晶各向异性对样品矫顽力的影响不大，样品的形状各向异性起主要作用。 15，25，35和40nlTl。发现Fe磁性层的厚度对样品的磁性能和微结构有很大的影响。 磁性层厚度为35纳米时，样品垂直矫顽力较大约为135Oe。且平均粒径和磁畴尺寸 也比较小。 3．采用对靶磁控溅射法制备的Ag(3nm)／Fe(35nm)／Ag(3nm)纳米薄膜。随后进 行30分钟的原位退火，发现退火温度对样品微结构和磁特性有重要影响。随退火温 度的增加，矫顽力呈先稍微减小后增加的趋势。退火温度为500C时，矫顽力达到最 大，垂直矫顽力约为3．3KOe，表面平均粗糙度约为1．2锄，8M曲线表明此时颗粒 间交换耦合作用较弱，静磁相互作用较强。 随后进行30min原位退火。发现500C原位退火时，样品的垂直膜面矫顽力最大约为 522 Oe,不同的退火温度，对样品的微结构和磁特性影响很大 关键词：磁性薄膜各向异性磁畴矫顽力 lII Abstract the and Theresearchaboutmicrostructure of metal magneticpropertiesferromagnetic hasattractedmuchattentionin domain．Thisresearchhasbeenofboth films magnetism andscientificinterest．In and metal technology presentpaper,nanogranularferromagnetic filmswere method．The and preparedbyfacingmagnetronsputtering magneticproperties mierostructureofthesefilmshavebeen indetail andSPM． VSM，XRD investigatedby r mainresearchresultsaresummarizedas The follows： havebeen nm)／F