高温超导薄膜微波表面电阻的测量方法.pdfVIP

电子科技大学硕士论文 中文摘要 高温超导技术由于其广泛的优越性而越来越得到广泛的应用。特别是随着高温 超导薄膜制备技术的不断提高，使其在电子信息领域中得到非常好的应用。高温超 导薄膜的微波表面电阻是衡量薄膜质量的一个重要参数指标。因此，怎样更准确的 测量高温超导薄膜的微波表面电阻就显得尤为重要。目前，世界上很多国家都在进 行这方面的研究。 本论文源自国家863项目下达的课题。本文介绍了一种实验研究方法。这是一 种利用工作在 TE011+δ 模式的蓝宝石介质谐振器测量高温超导薄膜微波表面电阻的 方法。它通过测量加载超导薄膜前后，介质谐振器的固有品质因数的变化，通过一 个简便的等式 Q-1 ＝A＋BRs 来确定超导薄膜的微波表面电阻 Rs。该方法能比较准确 的测量高温超导薄膜的微波表面电阻，能对单片薄膜进行非损伤的测量，并且在批 量测量时其优越性更为突出。 本方法从立项研究至今，已进行了多次改进。本文从提高校准物理模型准确性 方面展开分析研究，通过改进蓝宝石介质谐振器耦合装置，降低耦合系数，来获得 一个更为准确的校准物理模型和更为准确的测量结果。本文所改进研制的测试装置 具有高Q值、高灵敏度、高准确度和重复性好等优点，可用于3英寸以下高温超导 薄膜的Rs