电荷泵在压电致器驱动中的应用.pdfVIP

摘要 摘 要 压电陶瓷是一种新型的智能材料，已被广泛用于精密定位结构、微纳加工、 [1] 能量回收等方面 。但是压电陶瓷本身存在的迟滞蠕变等非线性特征。这种迟滞、 蠕变特性很大程度上影响着压电陶瓷的定位精度与准确度，制约着其应用范围。 解决压电陶瓷迟滞与蠕变问题已成为当前世界范围内的一门前沿课题。国内外对 其研究的方法与手段层出不穷，本文在利用压电陶瓷位移与电荷成正比的特性 下，设计了一种新颖独特式的电路结构：采用开关电容式电荷泵的方法消除压电 陶瓷的迟滞和蠕变。 本文首先从压电理论出发，再在深入分析和理解压电陶瓷迟滞与蠕变特性的 基础上，研究了压电陶瓷的迟滞与蠕变特性以及形成原因。最后结合传统驱动方 式，并设计一种新型的驱动结构：开关电容式电荷泵结构。搭建实验测试平台， 对压电陶瓷位移迟滞、蠕变特性进行了测量和分析。与传统电压驱动和电荷驱动 方式相对比，开关电容式电荷泵能有效的消除迟滞、蠕变特性。又深入分析了开 关电容式电荷泵的优缺点以及各个参数对迟滞以及蠕变特性的影响。 实验中使用的压电陶瓷大小为10mm×10mm×18mm，由200 层陶瓷叠加而