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BioMEMS技术的研究与发展 崔大付 传感技术国家重点实验室 中国科学院电子学研究所 主要内容 引言 DNA芯片的研究 Lab on Chip的研究 集成微光机电生化分析系统 结束语 引　　言 微电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical System， MEMS）是集成微型机构、微型传感器、微型执行器以及信息处理电路于一体的系统； 生物微电子机械系统（Bio MEMS）、实验室芯片（Lab on Chip）和DNA芯片（DNA on Chip）的研究是具有前沿性、前瞻性和紧迫性的重大课题； 制造技术是基于IC技术而发展形成为表面微机械和体微机械技术相结合的MEMS技术。 意义：　DNA芯片将实现DNA分析系统的微型化、集成化和智能化，是DNA分析检测系统的重大革命；将成为新世纪的一项主导产业。 特点：在材料、物理结构、输入输出方式、产品种类等方面具有多样性和可变性； 　　　是分子生物学、化学、电子学和微制造技术等多学科结合、交叉、渗透的课题。 主要优点：分析速度快（2-3数量级）、需样品量少、成本价格低、污染减少、临床实时分析等等。 DNA芯片 平面阵列DNA芯片 三维微结构DNA芯片 电诱导控制DNA芯片 平面阵列DNA芯片 平面阵列（二维结构）DNA测序芯片 三维结构DNA芯片 三维微结构Si沟道芯片 电诱导控制DNA芯片 电诱导控制DNA芯片 在电场的作用下，可以把长链的、处在自由状态的、呈卷曲状的DNA分子拉直、定位，进行有选择、有目的的切割，便于进行分析。 Lab on Chip的研究 DNA纯化处理芯片 DNA-PCR扩增芯片 DNA-毛细管电泳芯片 集成DNA微系统芯片 DNA纯化处理芯片 DNA-PCR扩增芯片 DNA-PCR扩增芯片 DNA-PCR扩增芯片 DNA-PCR扩增仪 DNA毛细管电泳芯片 DNA-毛细管电泳芯片 DNA-毛细管电泳芯片 集成化DNA分析芯片 集成微光机电生化分析系统 集成微光机电生化分析系统 集成微光机电生化分析系统 DNA-SPR分析系统 折射率检测范围：1.33-1.47 入射角变化范围：40o-70o 测角分辨率：0.0001o 科学问题和关键技术 DNA基因信息的采集、放大、和转换的原理、方法和技术的基础理论； 微米尺度下生化分析微系统中电学、力学、热学和流体力学等问题； 微分析系统中DNA探针固定，杂交反应以及分子相互识别和结合等动力学问题； 微量液体的注射、流动、计量和分配等微射流技术问题； DNA芯片制造中深刻蚀、表面化学修饰及封装技术。 结束语 几点建议 发挥科学综合优势，组织多学科研究人员的协同攻关； 选择一批有水平、有基础、有条件的MEMS技术研究成果，在２～３年提供产品进入实用化； 加快研制出一批高灵敏、高精度、高性能微结构传感器、执行器、芯片及其集成化智能化研究； 加强对DNA芯片及其生化分析系统的支持，形成南、北两个研究基地，加速成果实用化。 谢谢！ 传感技术国家重点实验室（北方基地） 7x7x300微米，壁厚为１微米 传感技术国家重点实验室（北方基地）