《放置方向和沉积时间对Ti大颗粒分布状态的影响》.pdfVIP

表面技术 第 43卷 第 5期 · 6 · SURFACETECHNOLOGY 2014年 10月 放置方向和沉积时间对 Ti大颗粒分布状态的影响 魏永强 一，魏永辉 一，蒋志强 ，田修波。 (1．郑州航空工业管理学院 机电工程学院，郑州 450015； 2．航空制造及装备河南省高校工程技术研究中心，郑州450015； 3．哈尔滨工业大学 先进焊接与连接国家重点实验室，哈尔滨 150001) 摘 要：目的 研究基体表面和靶表面不同放置方向以及沉积时间对Ti大颗粒形貌和分布规律的影响 方法 利用电弧离子镀方法在基体上制备TiN薄膜，采用扫描电子显微镜观察TiN薄膜的表面形貌．利 用ImageJ图像软件对TiN薄膜表面中Ti大颗粒的数 目和尺寸进行分析。结果 靶基间距保持25cm，当 基体表面与靶表面垂直放置时，薄膜表面的大颗粒数 目和所 占面积比比平行放置时要少。同时出现 了典 型的长条状大颗粒；随着沉积时间从5min增加到50min，大颗粒数 目和所 占面积比出现先减小后增加 的趋势。结论 选择基体表面与靶表面垂直放置，沉积时间为30～40min时，薄膜的沉积厚度和减少大 颗粒缺陷可以兼顾。 关键词 ：电弧离子镀 ；TiN；大颗粒；放置方向；沉积时间 中图分类号 ：TG174．444 文献标识码 ：A 文章编号 ：1001—3660(2014)05-0006-05 InfluenceofPlacementOrientationandDepositionTimeontheM orphology andDistributionofTiMacroparticles WEIYong．qiang ，，，WEIYong．hui’，JIANG Zhi-qiang ，，TIAN Xiu—bo (1．SchoolofMechatronicsEngineering，ZhengzhouInstituteofAeronauticalIndustryManagement，Zhengzhou450015，China； 2．EngineeringTechnologyResearchCenterofAviationManufacturing＆ Equipment，UniversityofHenan，Zhengzhou450015， China：3．StateKeyLaboratoryofAdvancedWeldingandJoining，HrabinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) ABSTRACT：ObjectiveTheeffectsofdifferentplacementorientationbetweensubstratesurfaceandtargetSu~／aceandthedeposi— tiontimeonthemorpholoyg anddistributionofTimacropartieles(MPs)werestudied．MethodsTiNfilmsweredepositedonthe substratebythearcionplatingmethod，thesurfacemorpholoyg oftheTifilmswasobservedbytheScanningelectronmicroscopy (SEM)method，andtheamountandsizeofTiMPsinthesurfaceofTiNfilmswereanalyzedusingthescientificimagesoftware ImageJ．ResultsWhenthedistancebetweenthetargetandthesubstratewas25cm，theamountandareafractionofMPsinthe