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在线气体分析仪器及分析系统设计与应用技术讲座第一部分(5) 第七讲半导体激光气体分析仪 第八讲紫外-可见分光光谱仪 第九讲总硫分析仪及其应用 主讲人：朱卫东 2011年 第七讲 半导体激光光谱分析仪7.1 DLAS的基本原理介绍 1、 DLAS的调制光谱检测技术 调制光谱检测技术是一种被最广泛应用的可以获得较高检测灵敏度的DLAS技术。它通过快速调制激光频率使其扫过被测气体吸收谱线的一定频率范围，然后采用相敏检测技术测量被气体吸收后透射谱线中的谐波分量来分析气体的吸收情况。 调制类方案有外调制和内调制两种，外调制方案通过在半导体激光器外使用电光调制器等来实现激光频率的调制，内调制方案则通过直接改变半导体激光器的注入工作电流来实现激光频率的调制。 2、DLAS技术特点和优势 (1)不受背景气体的影响 传统非色散红外光谱吸收技术采用的光源谱带很宽，其谱宽范围内除了被测气体的吸收谱线外，还有很多其他背景气体的吸收谱线。光源发出的光除了被待测气体的多条吸收谱线吸收外，还被一些背景气体的吸收谱线吸收，从而导致测量的不准确性。而半导体激光吸收光谱技术中使用的半导体激光的谱宽小于0．OOOlnm，为上述红外光源谱宽的1/106，远小于被测气体一条吸收谱线的谱宽。 DLAS气体浓度分析仪首先选择被测气体位于特定频率的某一吸收谱线，通过调制激光器的工作电流使激光波长扫描过该吸收谱线， 在选择该吸收谱线时，应保证在所选吸收谱线频率附近约10倍谱线宽度范围内无测量环境中背景气体组分的吸收谱线，从而避免这些背景气体组分对被测气体的交叉吸收干扰，保证测量的准确性。 (2)不受粉尘与视窗污染的影响 气体的浓度由透射光强的二次谐波信号与直流信号的比值来决定。当激光传输光路中的粉尘或视窗污染产生光强衰减时，两信号会等比例下降，从而保持比值不变。因此过程气体中的粉尘和视窗污染对于仪器的测量结果没有影响。实验结果表明即使粉尘和视窗污染导致光透过率下降到1%时，仪器示值误差仍不超过3%。 (3)自动修正温度、压力对测量的影响 一些工业过程气体可能存在几百摄氏度的温度变化和几个大气压的压力变化。气体温度和压力的变化会导致二次谐波信号波形的幅值与形状发生相应的变化，从而影响测量的准确性。 为了解决这个问题，DLAS技术中可增加温度、压力补偿算法，只要将外部传感器测得的气体温度、压力信号输入补偿算法中，DLAS气体浓度分析仪就能自动修正温度、压力变化对气体浓度测量的影响，保证了测量的准确性。 3、测量气体种类和特征波段下表列出了可利用近红外半导体激光器检测的几 种常见工业过程气体及其测量下限。 7.2 DLAS的基本工作原理 1、半导体激光气体分析仪的组成 主要由激光发射、光电传感和分析控制功能模块组成，其基本工作原理如图所示，由激光发射单元驱动半导体激光器发射出探测激光，探测激光穿过含有被测气体的测量环境，由光电传感单元接收，获得吸收信号，经过分析控制模块进行数据采集和光谱计算，实现气体浓度的测量。 2、半导体激光气体分析仪的分类 根据探测激光的传输方式，半导体激光气体分析仪可分为光纤和非光纤两种形式。 ①光纤型激光气体分析仪 光纤型激光气体分析仪是采用光纤耦合技术将半导体激光器发射激光经由光纤传输至现场测量。这类型激光气体分析技术与光纤分光技术相结合，可将一束探测激光分为多束，具有对多个相同测量组分进行分布式测量的能力。同时，由于光纤型系统结构的特点，该类型产品的发送和接收单元可实现本安防爆。 光纤型激光光谱分析仪 ②非光纤型激光气体分析仪 非光纤型激光气体分析仪是采用将半导体激光器直接安装在激光发射模块上，让发射出的激光经过光学透镜后，穿过被测环境被传感模块接收。因不受光纤耦合和光纤分光技术制约，这类型激光气体分析仪具有可测量气体组分多、检测灵敏度高、模块化程度高、性价比高等优势，在工业过程分析领域得到更为广泛应用。 非光纤型激光气体分析仪 根据对气体的测量方式，半导体激光气体分析仪可分为原位式激光气体分析仪和采样式激光气体分析仪。 ①原位式激光气体分析仪 原位式激光气体分析仪是将激光发射模块和光电传感模块直接安装在过程管道上，无需采样预处理系统直接对管道内被测气体进行在线分析。该类型激光气体分析仪具有测量精度高、响应速度快、恶劣环境适应能力强、可靠性高等优势，已在安全控制、工艺分析、烟气排放等领域得到了广泛应用。 原位式激光气体分析仪 ②采样式激光气体分析仪 采样式激光气体分析仪是将样气从过程管道中取样至测量气室，通过将探测激光射入测量气室后，被光电传感模块接收，实现对被测气体的在线分析。 由于半导体激光吸收光谱技术在测量准确性、恶劣环境