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多晶硅片线 痕片总结 姜 伟 伟 CONTENTS 线痕分类 线痕按照形状分有单一线痕，均匀线痕和硬点线痕。硅片表面的单一 线痕，有深有浅；均匀线痕体现为整个或者部分硅片表面出现多条由 深至浅状似划伤的线痕；而硬点线痕出现的毫无规律，但是形状似单 一线痕，但是线痕上明显看到有硬点的存在。对于单晶来说，线痕主 要有均匀线痕和单一线痕；对于多晶来说，三种都存在。 CONTENTS 单 一 线 痕 单一线痕主要产生原因和处理措施： 1）跳线：跳线造成的线痕一般集中在晶棒的某个部位；但有时也会整根棒跳线， 从而导致切割后整根棒几乎都有线痕。造成跳线的原因为：A 杂质（碎硅片， 砂浆杂质）进入线槽或者粘附于线网，如上一次切割完毕线网未清理干净或者 砂浆过滤袋质量出现问题，则很容易发生这种情况。B 钢线张力太小，线弓过大产生滑 移。C 粘棒时一块经托上两根棒不在同一条水平线上。 处理措施：每次切割后做好线网清理工作，确保线网上杂质都被气枪吹掉，切割前砂浆 循环足够时间，使砂浆中携带的杂质都被有效过滤（也可以避免TTV出现）。 CONTENTS 2）断线产生单一线痕 断线产生单一线痕多见于停机处理断线时间过长造成，线痕表现为 一条亮线，所有硅片不分切割位置在停机时的进刀位置都有。 3）粘胶面倒角处有单一线痕 产生原因：C 角去胶没有去干净 CONTENTS 此线痕由于砂浆切割能力不足引起： 1）切割能力不足主要表现为砂浆粘度不足，碳化硅微粉沾附在钢 线上颗粒变少； 2）砂浆不能很好混合于悬浮中，砂与悬浮液适配性不理想。 3）硅片生产为降低成本大量使用回收砂，这种情况下可以降低工作台速度或提高砂浆密度 均匀线痕1 在硅片表面出现线痕发黑无凹凸状，我认为是砂浆粘度过高造成 可以通过调节工艺的工作台速度，钢线速度及砂浆流量来控制 均匀线痕2 CONTENTS 硬点线痕判别及其预防措施 硬点线痕表现形式为：在硅片表面线痕上可看见黑点（斑）出现或在硅片表面出现凸起然后随之消失（跟台阶片不同） 对于IR检测出来的硬点棒切割及非硬点棒切割分选后的线痕片注意判别 预防措施：多晶炉石墨热场配件为碳部件，铸锭时碳进入硅料，区域碳集在一定温度下反应则生成碳化硅，当然硬点不能排除与硅原料无关。因此干锅涂层工艺严格控制，同时硅原料的碳含量也需要控制。 CONTENTS 线痕 硬质点 钢线速度 砂浆流量 碳化硅粒形及粒径 砂浆粘度 钢线张力 工作台速度 　　　谢　　谢！