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MEMS振动传感器的设计及制作工艺研究 伦风艳 导师：张平 摘 要 论文以实现低成本、高灵敏度、高集成度的微振动传感器为目标，开展了基 于MEMS技术的聚合物微光机械振动传感器设计及制作工艺的基础性研究。 通过对传感器及其所用材料的发展过程和现状进行回顾与比较，指出了聚合 物微光机械振动传感器在传感器发展中的优势，说明了-丌展聚合物微光机械振动 传感器研究的必要性。 文中设计了光波导．悬臂梁．质量块集成结构微振动传感器芯片，阐明了光机 转换的工作原理：计算出了波导参数：重点分析了机械结构参数对传感器l生能的 影响及选取原则，给出了结构参数优化设计结果。 同时，论文对聚合物微光机械振动传感器芯片的制作工艺进行了较深入研 究。研究了PMMA的旋涂成膜工艺，解决了层间互溶、应力开裂、光刻起皱等 薄膜表面质量问题；研究了聚合物光刻、掩膜制备和干法刻蚀工艺，解决了聚合 物光刻渗钻、干法刻蚀侧蚀等关键工艺难点；总结出了聚合物微光机械振动传感 器芯片的制作工艺流程，实现了光波导集成光路和悬臂梁．质量块微机械结构在 硅基底上的集成，制作出了基于MEMS的聚合物微光机械振动传感器实验室原 型器件。 利用光纤．波导端面直接耦合法，采用波导测试系统对制作的振动传感器芯 片进行了初步测试。测试结果表明，设计制作的集成光路基本可以满足传感器的 传光和分光要求，振动传感器芯片显示了检测振动的功能。 关键词：聚甲基丙烯酸甲fl目(PMMA)；振动传感器：光波导；悬臂梁一质量块：旋 涂：干法刻蚀 The Oilthe andFabricationProcess Study Design OfMEMSVibrationSensor Lun Fengyan 。i。ec‘ed Ping b’1。；《11ang t Abstract atthelower sensitivit,and microvibration Aiming cost．high highintegration basicresearchesonthe andfabricationof sensor,the design processpoly’mer vibrationsensorbasedMEMS micro。opto‘mechanical techniques!!掣妇墟一7 The of vibrationare sensor ad、fantagespolmermicro—opto-mechanical pointed OUt onthereviewand ofthe andstatusofthe basing ing comparingdevelopment and sensoritsmaterial．andthenthe ofresearchonthissensoris necessity explaine