光刻机铬版缺陷类别(设备类).pptVIP

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2017-09-08 发布于江苏
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光刻机铬版缺陷类别(设备类).ppt

光刻设备产生的铬版缺陷介绍光刻机产生的缺陷分类位置精度总长超标正交精度超标线条质量接口Stitching超标错位线边波浪黑线最小图形能力方角不锐圆弧度太差其他多余图形图形丢失死机 Stitching的由来光刻机的曝光方式 Stripe Scan Stitching分类及缺陷表现形式 X stitching Ramp过长或过短 RDX位置错误 Y stitching AOD角度偏差 Trgd延时或提前能量曲线接口Ramp偏差接口AOD偏差接口能量曲线差错位设备参数错误 Trgd AOD 硬件镜头松动 AOD马达位置错误平台震动运动控制出错其他信号干扰数据延迟调配置不完全错位直线波浪斜线波浪线边波浪黑线 Scan丢失激光波动方角锐度方角锐度真圆度圆弧 Shutter失效漏光漏光导致的线边波浪漏光产生多余图形 * Scan strip stage Substrate lens Ramp过长 Ramp过短 OK NG OK NG 激光器能量波动整版错位局部错位 Scan方向的错位数据紊乱引起的错位 1、Air bearing有划伤 2、驱动马达 3、控制Rack内部温度变化 4、漏光 OK NG 不同设备不同配置的最小图形能力有差别,影响关键因素是光点大小 MP80+ Lv30 *