高温电加热过程模拟及优化与研究.pdf

高温电加热过程模拟与优化的研究 高温电加热过程模拟与优化的研究 摘 要 随着新材料工业的发展，工业电加热设备应用越来越广泛。严格控制产品质 量、降低生产能耗、保障生产安全是工业电加热设备技术进步的不懈追求。本文 以过程系统工程理论为指导，采用有限元方法对高温电阻炉加热过程进行了较系 统的数学模拟和工艺优化研究，以期为高温电加热过程的发展有所裨益。 论文评述了过程系统工程、有限元法以及艾奇逊式电阻炉的特点及发展。介 绍了开源有限元模拟分析软件FEPG；讨论了高温电阻炉的进展，重点分析了碳 化硅合成炉和石墨化炉在炉型改进、工艺提高和模拟优化方面的国内外研究动 态。在分析电阻炉加热过程中所存在问题的基础上，提出了本文的研究方向。 通过对艾奇逊式电阻炉的炉型分析，应用虚功原理，建立了高温电阻炉在二 维动态非线性传热有限元模型；同时，对反应过程产生气体的情况进行了分析， 建立了二维传热一渗流耦合的有限元模型；结合炉体和部件的应力和形变情况， 又建立了三维的传热一形变一应力耦合的有限元模型。因为炉料由多种颗粒组成， 采用混合模型将其简化为分层拟均相模型，并采用修正的热逾渗理论模型进行描 述。通过对直通电石墨化炉的有限元计算，并与现有文献比较，结果表明：本文 所建立的传热有限元模型和多种颗粒组成炉料的有效导热系数的计算方法是有 效的。 采用建立的传热有限元模型，对一有效宽高为2．1m×1．9m、炉芯宽高为 0．35reX x 0．6m、单位体积炉芯负荷8．5 10唧／m3的艾奇逊炉碳化硅生产过程进行 了模拟和分析： (1)具体分析了炉内动态的温度场分布、不同时刻炉料水平线上温度梯度 变化、热流密度变化情况，系统的考察了炉内产品产量和单位产品能耗随生产进 行的变化趋势。结果表明产品产量随时间线性增长，单位产品能耗呈现从高到低， 然后平稳，最后上升的变化趋势。考察炉芯表面温度可知其与产品能耗密切相关。 能耗较低的平稳阶段对应于从炉芯表面温度上出现了2600C温度点，到全部表 面温度均超过2600C。这意味着该阶段是炉芯热效率最高的阶段。炉芯表面完 全达到碳化硅分解温度的时刻，正是能耗较低产量较高的时刻，因此也是生产停 中国海洋大学 炉的最佳时刻。对温度梯度和热流密度进行分析，发现温度梯度最大的阶段出现 在合成碳化硅的温度区域内，而且随着时间增长炉表面散热的热流密度也增长。 (2)喷炉问题是碳化硅炉生产中迄今仍没有完全解决的问题。本文应用传 热一渗流耦合的有限元模型，分别系统地考察了正常生产条件、增大炉芯功率和 增加密度导致渗流系数变小三种条件下，炉底气体压力和炉表气体流量变化。发 现了喷炉的具体原因：1)炉料配置不合理，导致气体渗流系数变小。2)功率过 高，导致化学反应过快造成炉产生的气体不能及时渗透出去。 (3)石墨电极在碳化硅或石墨化炉生产过程中，部分在炉体外部，部分与 炉内高温物料接触，并且自身也会通电发热。为考察电极在这种情况下是否发生 损坏，应用传热一形变一应力耦合的有限元模型进行过程分析。具体考察了电极内 部和外部的温度分布、电极的整体形变和电极的主应力分布的情况。结果显示： 凸出炉体外部电极表面温度不超过90℃，不会发生氧化反应导致的损耗；电极 整体温差小于20℃，不会因为热应力和体积力作用导致电极发生形变。因此电 极在正常生产条件下不会发生损坏现象。为进一步加强电极保护，根据计算结果 提出了电极保护涂层的厚度的工艺方案。 为解决现有艾奇逊碳化硅炉生产能耗高、有喷炉安全隐患的问题。本文以系 统过程工程理论为指导，应用传热一渗流耦合有限元模型，对有效宽高2．3mX X 2．1m、炉芯宽高0．4mX0．6m、单位体积炉芯负荷8．810唧／m3的碳化硅炉型生产 过程进行模拟。作者将生产过程分为三个阶段：1)生产前期，热能主要用于炉 体预热、碳化硅合成尚未开始或反应微弱，该过程应尽快完成以减少散热损失。 2)生产中期，炉料开始反应到炉芯表面局部达到2600℃，该阶段应尽快完成， 但要注意避免发生