光栅光谱仪光路结构的设计.pdfVIP

第36卷第5期 应用光学 V01．36No．5 2015年9月 JournalofAppliedOptics Sep．2015 文章编号：1002—2082(2015)05—0704—05 光栅光谱仪光路结构的设计 陈至坤1’2，王淑香2，王玉田1，王福斌 (1．燕山大学河北省测试计量技术及仪器重点实验室，河北秦皇岛066004； 2．华北理工大学电气工程学院，河北唐山063009) 摘要：为提高光栅光谱仪的波长扫描精度，设计了一套可对光栅转动情况进行实时反馈的系 统结构，实现了仪器在高速和高精度扫描上的统一。在对反馈结构进行设计时，应用光栅尺测 位移技术对正弦丝杆上的滑块进行位移反馈，由计算机对其进行接收和处理。对比实验显示， nm。结果 仪器本身波长扫描精度为0．7nm，加入反馈电路进行反馈后波长扫描精