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微机械惯性仪表的原理结构与制造技术
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第 卷 第 2期 半 导 体 情 报 Vo[．34，No 2
l997年 4 SEM IC0NDUCT0R 1NFORM ATION Apr．1907
惯性仪表的原理结构与制造技术
工 高钟毓
7-H7
(清华大学精密仪器采 北京，1O0084)
GaoZhongyu
(Dept． Precision㈣ ” ．，T~inghuaUnit Be ”g，1000841
Abstract Theadvance inmicromechanicalInertialinstruments (including microme—
chanicalgyroscopes，m ieromechanicalaccelerometersand m icro inertialmeasurement
units)allovertheworldareintroducedinthispaper．Theirconstructionschemes．elec—
troniccircuitprinciplesandfabricationprocessesaredescribed．Theiradvantagesandde—
fectsarecomparedwitheachother．Theapplicabletechniquepathwayofdevelopingthe
micromechanicalinertialinstrumentsinourcountryissuggested ．
Keywords Micromechanicalgyro M icromechanicalaccelerometer M icro inertial
measurementunit Fabricationtechniqueofmicro—construction
1 概 况 等)有着广泛的应用前景 ，受到世界各国的普
近十年来．由于半导体批量生产技术的发 遍重视。根据现有资料 ，美国、 日本、欧洲
及俄国都 已组织力量 ，积极开展这一领域 的研
展和军民两方面的需求，在 国际上 已经 出
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