三氟乙酸盐金属有机沉积制备钇钡铜氧涂层导体的研究.pdf

摘要 摘 要 YBCO涂层导体是高温超导技术强电应用的关键材料。其实用成材技术的突破 将会带来革命性成果，实现超导技术在工业领域的大规模应用。目前主要有两种方 法来制备YBCO涂层，一种是真空法，一种是化学溶液法。由于后者成本低、沉积 速率快、易获得大尺度的带材而成为一种很有发展前景的方法。本论文尝试用化学 体，对前驱液制备、涂覆和热处理等步骤进行了研究。主要工作如下： l、研究了在单晶基体上采用TFA．MOD制备钇钡铜氧涂层导体的整个工艺过 程，包括前驱液的配制、在铝酸镧单晶基片上的旋涂、薄膜的热解以及YBCO的成 相等，制备出了表面均匀致密、无明显裂纹，有较强(001)衍射峰的YBCO超导 薄膜。 2、对薄膜的热处理过程进行了较为深入的研究，找到了合适的热处理条件： (1)水汽氛对薄膜质量有较大的影响。将氧气、氮气混合气体通过恒温水浴 装置，在不同的水温下制备出YBC0薄膜，我们发现，水温为40℃时所得 的薄膜成分均一，无明显杂质相，质量较好。 (2)烧结温度对薄膜的影响。对不同温度下制备的薄膜进行了分析，发现烧