mems光开关行器——平行电容板结构的理论研究.pdfVIP

摘要 MEMS光开关执行器一平行电容板结构的理论研究 摘要 光开关是实现全光网络的关键器件，MEMS光开关因具有体积小、 集成度高、能大规模生产等优点，对实现全光通信有重要意义。驱动部 进行深入的理论分析。 对MEMS光开关执行器一平行电容板结构进行理论研究，建立了静 态方程，得出了上极板偏转角度与驱动电压的关系和驱动电压与平行电 容板结构几何参数的关系。并对平行电容板结构进行了动态分析，导出 了响应时间影响因子的计算公式，分析研究了响应时间的各种影响因素。 将脉冲电压驱动应用于平行电容板结构，用PWM技术对脉冲电压 的宽度进行调制，建立了在脉冲电压驱动下的理论分析模型。理论分析 结果表明：脉冲电压的调制频率对上极板偏转角度与脉冲电压宽度的线 性度有一定的影响，当脉冲电压的调制频率是上极板自然振动频率的5 倍以上时，它们的线性关系非常理想。比较了直流电压驱动和脉冲电压 驱动，后者从能量损耗和线性度方面要优于前者。 关键词MEMS光开关平行电容板驱动电压响应时间 摘要 THEORETICALRESEARCH0NTHEACTUATOR OFMEMS0PTICALSWITCH——PARALLELPLATE CAPACITORSTRUCTURE ABSTRACT is switchthe in all Optical componeat network key implementingoptical switchan roleoftherealization (AON)．Opticalplaysimportant ofAONdue toits ofsmall ofmanufactureina advantagesvolume，highintegration，ability scale．Actuatorisacritical oftheMEMS large part opt!eal itis to and the theoriesin inordertorealizethe necessarystudyanalyze deep industrialization． The structure，actuatoroftheMEMS parallelplatecapacitive optical beenstudiedin andthestatic switch，has iS theory equation relationbetweentherotate ofthe electrodeandthe angle upper actuator andtherelationsbetweenthe voltage actuator anditsstructural