碳纤维多臂微操系统的研究.pdfVIP

摘要 摘要 随着现代科学技术的发展，对微观领域的研究逐渐深入，微操作技术作为 微机电系统(MEMS)的重要组成部分，其重要性日益显著。 然而，大部分微操作器是基于硅工艺的，对设备要求高且T艺复杂，因此， 本文提出了一种基于单根碳纤维的廉价，对设备要求低、易实现的微操作系统。 研制了碳尘T维两臂，三臂微操作系统，并进行了相关实验与理论分析。本课题 存国家自然科学基金(No资助下完成。本文主要内容为： l设计制作了基于单根碳纤维的两臂、；臀微操作器，并为其配备了相关 的临测、照明、移动平台．组成了微操作系统。同时为三臂微操作系统设计制 nl，闭 作了驱动电路。两臂微操作器特征尺寸：臂长3．74ram，臂间距离137p u 合电压44．2v：三臂微操作器特征尺寸：臂长7．60ram，臂间距离143m，闭合 电压33．