第九章自动检测的共性技术及新发展.pptVIP

第九章　自动检测的共性技术及新发展 　　近年来，随着计算机技术、信号处理技术和通信技术的发展和应用，使得自动检测系统和仪表的功能得到很大的提升，性能指标得到很大的提高。 9.3.2 产生和分类 电子测量仪器发展至今大体分为4代：模拟仪器、数字化仪器、智能仪器和虚拟仪器。 随着微机的发展和采用总线方式的不同，虚拟仪器分为5种类型： PC总线-插卡式虚拟仪器 并行口式虚拟仪器 GPIB总线式虚拟仪器 VXI总线式虚拟仪器 PXI总线式虚拟仪器 （2）仪器驱动程序 （3）I/O接口软件 （4）通用数字处理软件 微型化 集成化 硅基材料 制作工艺与IC产品的主流工艺相似。 MEMS中的机械不限于力学中的机械，它代表一切具有能量转化、传输等功能的效应，包括力、热、光、磁、化学、生物等效应。 MEMS的目标是“微机械”与IC结合的微系统，并向智能化方向发展。 2. MEMS技术的特点 尺寸效应是MEMS中许多物理现象不同于宏观现象的一个重要的原因，其主要特征表现在： 微构件材料的物理特性的变化。 力的尺寸效应和微结构的表面效应。在微小尺寸领域，与特征尺寸的高次方成比例的惯性力、电磁力等的作用相对减弱，而在传统理论中常常被忽略了的、与尺寸的低次方成比例的粘性力、弹性力、表面张力、静电力等的作用相对增强。 微摩擦与微润滑机制对微机械尺度的依赖性以及传热与燃烧对微机械尺度的制约。此外，随着尺寸的减小