激光腐蚀刻蚀技研究.pdfVIP

摘要 摘要 激光诱导液相腐蚀是利用激光在单色性、方向性、高亮度上的独特优势，以 激光对材料的光子效应和热效应为基础，辅助材料的液相腐蚀进程，从而满足材 料的刻蚀需要。激光诱导液相腐蚀与普通化学腐蚀相比，可以有效地消除晶体取 向影响，制作出更加多样化的腐蚀图形；与激光诱导气相腐蚀相比，其工艺条件 更加容易实现，操作更加简单；与干法离子刻蚀相比，对基片无离子损伤，过度 腐蚀容易控制，成本低。正因如此，激光诱导液相腐蚀技术逐渐成为国内外学者 研究的热点之一。因影响半导体激光诱导液相腐蚀效果的因素很多，要得到理想 的腐蚀图样以及监控腐蚀进程有着很大的技术难度，至今没有得到有效解决。 本文的工作就是围绕激光诱导液相腐蚀技术而开展的，主要的研究结果与创 新之处如下： 1) 以激光诱导液相腐蚀技术为主线，以实现其应用为最终目的，深入开展 基本原理、实时监测、加工工艺和器件应用四个层面的研究，搭建有效的激光诱 导液相腐蚀研究体系。 激光诱导液相腐蚀是典型的交叉学科技术，它以激光技术为基础，涉及到包 括化学、材料等众多领域，知识背景复杂，使得现阶段激光诱导液相腐蚀的基本 原理、加工工艺水平、实时监控以及实际应用等方面均存在急待解决的问题。因 各个层面之间互相关联，独立研究很难达到推动实际应用的目的，本论文选择以 搭建激光诱导液相腐蚀体系为切入点，开展广泛而深入的研究，成为本论文的主 要特色之一。 2)提出了利用红外热像实时监测，系统研究了激光诱导液相腐蚀进程中的 腐蚀溶液的热环境分布、变化等特征，使温度这一影响激光诱导液相腐蚀的重要 因素得以有效表征。 温度是影响化学反应进程的重要因素之一。在激光诱导液相腐蚀的进程中， 激光、化学反应热等因素均对反应的实际温度有很大的影响，加之热对流、热传 导、热辐射等因素的存在，使得深入了解激光诱导液相腐蚀的热环境、分布特征 成为难题。本论文提出利用红外热像实时监测，将温度差异引起的热辐射能转化 为相应的红外可见图像，记录、储存并进行处理分析，获得需要的监测结果，并 积极探索腐蚀进程、腐蚀速率、粗糙度等与红外热图像之间的内在联系。 摘要 3)提出了获得材料反应启动时长(刻蚀材料与腐蚀溶液从开始接触到腐蚀开 始的时间间隔)的测量方法，并对不同材料、不同腐蚀液浓度下的化学反应启动 时长进行了实验研究，获得了有价值的实验结果。 不断提高刻蚀速率，被普遍认为是湿法刻蚀技术持续发展的根本所在，因为， 与干法刻蚀技术相比，只有不断提高刻蚀速率，才能克服横向腐蚀等缺陷，进一 步突出其应用面广、成本低、选择腐蚀性能好等优势。随着刻蚀速率的不断提高， 对时间的控制精度要求也越来越高，化学反应启动时长的存在，对快速刻蚀的时 间控制而言，有着较大影响，已经不容忽视。但至今仍缺乏有效的技术手段对反 应启动时长进行测定，往往对其进行大致估计或完全忽略，这一缺失，将最终制 约快速刻蚀技术的进一步发展。本论文从化学反应过程伴随热生成这一现象，在 对材料表面腐蚀液滴及腐蚀液膜红外辐射特性深入研究的基础上，利用红外热像 实时监测系统，对竖直材料表面滑动液滴残留线形液膜进行红外灰度实时采集， 从中成功获得了反应启动时长的相关信息。 4)提出了包括抗蚀膜掩蔽法、次序选择腐蚀法、电极腐蚀法和两步腐蚀法在 内的激光辅助液相腐蚀系列方法，并通过对加工方法的选择，实现了在不同材料 刻蚀上的成功应用，取得了较理想的刻蚀效果。 工艺技术研究是决定激光诱导液相腐蚀实际应用效果的关键环节之一。本论 文以大量的实验研究为基础，并结合理论分析，最终建立了以抗蚀膜掩蔽法、次 序选择腐蚀法、电极腐蚀法和两步腐蚀法为主的激光辅助液相腐蚀系列方法。抗 蚀膜掩蔽法是在基片表面不需要腐蚀的区域用抗蚀膜覆盖，激光照射在无抗蚀膜 区域，对基片进行腐蚀；电极腐蚀法是通过外加电压在溶液中形成腐蚀电流，促 使中间离子产物脱离基片表面；次序选择腐蚀法是针对混合溶剂的使用先后顺序 进行选择；两步腐蚀法是利用材料不同方向上刻蚀速度的差异，延长或缩短相应 的刻蚀时间。在实际的刻蚀工艺中，可根据不同的需求，确定一种或多种工艺方 法，本论文为阐述需要，对各种工艺进行独立分析。经理论分析和实验验证，以 四种工艺为基础的系列方法，可以满足绝大多数刻蚀需要并取得较理想的刻蚀效 果。 5)以半