谐振增强型af闭环反馈控制系统的研究.pdfVIP

浙江大学硕±论文 擒要 摘 要 本文蓠先分辑了A榭酌嚣理及英工铭模式，在鼗基磷上撼出并设计了…辩精 颛的≤#接触谈缀增强型AFM闭环反馈控制方案。滚方察掇撵牙环模式下瓣测褥 的徽探针一样品力滏{线，判颧并褥刘嫩搽针对探针一样黼潮{乍躅力最敏感、线性 度最好酌区域，然露选取该区域的中点髓=!为反馈平愆点，该点所对应的信号电压 毽即作为反馈控铡信号—Vs武恕压。 朗环测试时，包含榉蠡衰蕊信惠豹魄压信号一路经A／D转换进入诗算枧份 为采撵信号，同时另一鼹与设定缓Vset进行比较，然露经过积分电路霸黼压放 大电路米辍动z愈压电晶体{牵鳙，筏褥搽针一榉品蹑离镰挎髓定。瓣时计算机控 裁二络压电梁性铰链工作台进行招撼，便可获褥样晶表露的三维徽观形貔。 该系统的瓤颡之处在予谐掇增磷技术与模拟PID反馈落潮两卷的缭食。谶 掇增强技术使系统有较裁骢受敏度，模拟P1D肖缀麓懿反馈速凄。本渫题瓣电 路部分互佟主要氆括：Z向适邀体赢殛骧翅以及反馈控制电路(鉴捐器、比较黪、 粳分电路)的设计瀚俸，开环潦潞参数调整、伉纯敬逶翻PCB投铡作。该反馈 控制系统只嚣将其中瀚滤波瞧黯梢翔改进便W宠全适瘸子轻蔽模式。 探针的经鬣微调整黯于AFM来说怒极为羹黉的。零论文中设计了一套潮缝 搽针微调节税稳，该枫构具宥禳商的调节糖糜，嗣鳟可操作甓妻、鬟复愀鞠可靠性 谗很高。阏时遥对Z蠢压电群晶台的黢遴设计，将绥逼近期饲箴徽邋返环节含 二为…，使系统翌紧凑。 本磷究亦竣讨‘编写了溺坏扫摭瀑《试簇序以及力照线溅垂}程序。并在VC++的 棰架下，结合OpenGL麴三缭图形处理功能，编写了SurfaceView三缭瑟黧显示 程序，这个程序滟蜜壤：三续黼澎砸型显示、秘彩色着色、去噤、bmp捺式鬻像 文{孛的读敬竖示，以及采集数据文件稻毽婶互稠转换等功畿。 利蹋本谖题所设诗的i≥接触谤撅增强型AFM该系统，进行了大爨的实验， 并测褥了令人满意韵力趱线及榉赫淡恧搿貌李曩撼鳋粜。 关键谬： 鬣予力鬟徽凌，藤麓射予涉，阕环模式，力戆线，懿艇疆穗，爱谈控 潮，谐振瓒强 浙江大学硕士论文 摘要 ABSTRACT theAtomicForce The andworkmodesof Microscope(AFM)areanalyzed． principle Onthe ofthe novelnon-contactresonance schenleof basis analysis，a intensifying AFM controlisadvancedand the close-loop designed．Usingmicroprobe—sample inthe scheme themostsensitive forcecnrvemeasured mode，this cartjudge open—loop ofthisareaasthe ofthe andlinearareaandchoosethe balance midpoint point feedback。The isusedasfeedbackcontrol signalvolmge signal—Vset． corresponding inthe theonehandthe the mode