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- 2015-12-06 发布于浙江
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Trans. Nonferrous Met. Soc. China 24(2014) 2856−2863
Effect of bias voltage on compositional, mechanical and corrosion property of
ZrNbAlN multilayer films by unbalanced magnetron sputtering
1,2 1 3 1 1
Yong-jing SHI , Fu-sheng PAN , Ming-dong BAO , Hu-cheng PAN , Muhammad RASHAD
1. College of Materials Science and Engineering, Chongqing University, Chongqing 400044, Chi
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