半导体制造中排队策略优化方法.pdfVIP

摘 要 半 导体 (芯片或 集 成 电路 ) 制造 业 是 公认 为制造 工 艺最 为复杂 的技 术 密集 型 产 业 ，也 是制 造 设备 最 为 昂贵 的资本 密集 型产业 。与其 他 制造业 的制 造 过程 相 比， 半 导体 制 造 中最 特 殊 的地 方 表 现 在 在 制 品 的重 复进 入 (W ork一in一process/ W IP Re 一ent ry )，也就 是 在 制 品在 加 工 过 程 中要 多 次返 回到 同一 设备 进 行 不 同工 序 的 重 复加 工 。这 种 极 其 特 殊 的制造 过 程 决 定 了在 半 导体 制 造 中排 队策 略 的优 化 方 法 比其他 制 造 业 更 为 复杂 ，加 之 半 导体 制造 的投 资 巨大 ，竞 争激 烈 ，制 造 设 备 折 旧 周 期短等特 点也迫使 投 资者 对 制造 设 备平 均 服 务 时 间 的高度重视 。 本 文 共 分 为三 章 ，第 一 章 是对 半 导体 制 造 中研 究较 多 的排 队策 略进 行 探 讨 和 总 结 ;第 二 章是通 过对 半 导体制造 设 备 平均 服 务 时 间和在 制 品平均 等 待 队长 的数 学 建模 ，在 导 入 经 典排 队论 中概 率 分 布 函数 的基 础 上 ，根 据 半 导体 制 造 的特 点和 特 殊性 ，在 原有 的概 率分 布模 型上进 行 了合 理 的假设 和数 学推 导 ，来 求 得 半 导体 制 造 设备 的最 优 控 制 : 第 三 章 ，针 对 半 导 体 (芯 片或 集 成 电路 ) 制 造 流 程 的特 殊 性 一在 制 品的重 复进 入进 行 深 入分析 ，通 过 简化 的微 型 l子AB 作 为试验 台来验 证 优 化 后 的排 队策 略 ，尤 其 以通 过 数 学矩 阵 的方 式来 描述 在 制 品重 复进 入 的排 队策 略 的优 化 方 法 ，_直观 的对 两 种 排 队策 略 的优 化 方 法 进 行 了 比较 。 关键 词 : 半导体制造 设备 平 均 服 务 时 间 在 制 品 重复进 入 中 图分类 号 : 。23 几 A b str a C t Sem ieon du etor (C h ip or IC) manu fa etur in g 15 r eeogn iZed a s th e m o s七 e om P le x o f m a n u f a e tu r in g P r o e e s s in t e e h n o lo g y 一in t e n s iv e in d u s t r ie s ，a n d 1 t 15 a l 5 0 w i th th e m o s t e x P e n s iv e o f m a n u f a e t u r in g e q u iP m e n t s in e a p ita l一in t e n s iv e in d u s t r ie s . C o m P a r e d w it h o th e r m a n u f a e t u r in g P r o e e s s in g ， t h er e 15 a u n iq u e e h a r a e t er d u r in g s em i e o n d u e t o r m a n u fa e tu r in g ，w h ieh 15 sh ow e d a s W o r k 一in 一P r o e e s s R e 一e n tr y . W IP R e 一e n t r y m e a n s W IP r e t u r n t o t h e s a m e e q u ip m e n 七 f o