热丝化学气相沉制备大面积金刚石薄膜工艺的研究.pdfVIP

摘要 由于金刚石薄膜有许多特殊而优越的性质，长期以来人类一直对它进行各种性质研 究，以期充分利用。近年来，化学气相沉积金刚石的研究取得了很大进展，在某些方面 已达到了实用阶段。同时，金刚石生长机理方面也有了一些初步认识。由于热丝法作为 主要化学气相金刚石沉积方法之一有许多优点，如装置简单，宜于实现大面积生长等， 这一工作不仅在理论上，而且在实际应用上均有重大意义。 本文首先从金刚石的各种优异性能开始，简要介绍了金刚石薄膜的研究的历史与现 状，金刚石薄膜的制备方式与各种表征方法，薄膜生长的动力学因素。着重描述了作者 用热丝法制备大面积金刚石薄膜的装置与沉积方法，并对影响薄膜生长的因素如：碳源 种类，碳源浓度，沉积气压、温度、衬底材料、衬底处理，沉积时间等，进行了探索。 最终找到一套利用简单的热丝沉积装置快速沉积大面积金刚石薄膜的沉积工艺。 mm，丙酮和氢 实验表明：大面积HFCVD(热丝法)条件在灯丝与基片的距离6．5 kPa，生长时间5个小时，以硅为