硅基微环电光调器的研究.pdfVIP

摘要 论文题目：硅基微环电光调制器的研究 学科名称：物理电子学 研究生：张艳 签名：拯粒 指导教师：习岗教授 签名：盈 摘要 硅是一种具有反演对称中心的晶体，并且是直接带隙，不存在电光效应。虽然硅材料 不具备一个良好的光子材料应该具备的特点，但是硅的等离子色散效应比较显著，通过等 离子色散效应可以获得高速的硅基电光调制器。光波导调制器最基本的组件是光波导，调 制器的性能在很大程度上依赖于光波导的性能。采用绝缘衬底上的硅材料 1 (Si 性与传统微电子工艺的高度兼容性、成熟的制备工艺、低廉的成本、在光通信长波长窗口 的低吸收损耗特性等。并且SOI结构折射率差大，对光场的限制作用强，可增大光子回路 的集成度，更易于与成熟的微电子工艺集成。因此，从互联和集成这一角度出发，SOI结 构的光波导电光调制器是十分有研究意义的，本课题就是围绕SOl波导电光调制器进行研 究。 本文主要从光学和电学两方面分析了基于微环结构的硅基电光调制器的原理。研