异质结半导体激光器.ppt

固体激光器的工作物质，由光学透明的晶体或玻璃作为基质材料，掺以激活离子或其他激活物质构成。这种工作物质一般应具有良好的物理－化学性质、窄的荧光谱线、强而宽的吸收带和高的荧光量子效率。 固体激光器以光为激励源。常用的脉冲激励源有充氙闪光灯；连续激励源有氪弧灯、碘钨灯、钾铷灯等。一些新的固体激光器也有采用激光激励的。 固体激光器由于光源的发射光谱中只有一部分为工作物质所吸收，加上其他损耗，因而能量转换效率不高，一般在千分之几到百分之几之间。 重掺杂时，费米能级进入能带深处。 加正向电压后，有源层由于粒子数反转，将产生激射。 室温下，电子的扩散长度可达5μm，这就要求有较大的注入载流子浓度才能保证有源区内实现粒子数反转。 为了降低J，可从限制载流子和光子着手。 仍需重掺杂，让费米能级进入能带深处。加正向电压后，有源层实现粒子数反转。 注入p区的电子，会被异质结限制，有利于有源层载流子的积累，但注入n区的空穴依然不受限制。 异质结形成的光波导效应，限制了p区光子的横向逸出， n区光子的光波导效应仍然很弱。 不需重掺杂，就可能实现粒子数反转。 载流子和光子都会被异质结限制，有效的降低了阈值电流。 DFB激光器用靠近有源层沿长度方向制作的周期性结构(波纹状)衍射光栅实现光反馈。这种衍射光栅的折射率周期性变化，使光沿有源层分布式反馈，所以称为分布反馈激光器。 2.在长距离、大容量光纤通信中，需要光谱线宽很窄，在动态（或高速调制）下仍能单纵模工作的LD为光源，有效的单纵模窄线宽的方法是对有源区中传播的振荡模式进行选择反馈，常用的色散元件是光栅，所谓的分布反馈光栅是在制造LD的过程中直接在LD波导层上形成，如果LD的内光栅是在有源层内的波导层上，则常称之为分布反馈LD，而如果LD这种内光栅是在有源层两端外的波导层上形成，称为分布布拉格反射LD，所有这些光栅对光场的反射都需要满足布拉格条件 式中，ne 为材料有效折射率，λB为布喇格波长，m为衍射级数。 图 分布反馈(DFB)激光器 (a) 结构； (b) 光反馈 在很多应用中要求LD有很好的横模（包括侧模）特性。一些应用中，要求有尽可能圆对称的远场光斑.可行的途径是在LD有源层的侧向也对其内部的载流子和光子施行限制。所谓条形LD条形LD是LD实现室温工作后一个重要的发展里程碑。 一、条形半导体激光器的优点 ①由于有源区侧向尺寸减小，光场对称性增加，因而能提高光源与光纤的耦合效率； ②因为在侧向对电子和光场有限制，有利于减少激光器的阈值电流和工作电流，有利于提高电-光转换效率 ③激光器的热阻减少，提高了激光器的热稳定性； ④由于有源区面积小，容易获得缺陷尽可能少或无缺陷的有源区，同时有源区与外界隔离，有利于提高器件的稳定性与可靠性； ⑤有利于改善侧向模式。 二、条形激光器的种类 按它们在侧向的波导机构，可分为两类，即增益波导与折射率波导。增益波导是利用载流子密度在有源层侧向的非均匀分布，而使有源层中心部分的增益（或复介电常数的虚部）高于其两侧，形成所谓的“增益波导”。侧向折射率波导是由有源层与其两侧材料的折射率差来实现的。 按有效折射率变化的大小而产生波导作用的强弱来分，有弱折射率波导和强折射率波导LD之分。 分类： （1）电极条形激光器 在P+-GaAs缓冲层上沉积或溅射SiO2，然后用标准光刻工艺开发条形窗口，最后沉积条形电极。 （2）质子轰击隔离条形激光器 条形电极部分用条形金属膜板掩蔽，被质子轰击的部分会进入高阻区，从而限制电流的侧向流动。 （3）台面形激光器 条形光刻技术、4-H2SO4: 1-H2O2: 1-H2O腐蚀剂; 腐蚀深度：到达紧贴衬底的限制层N-AlGaAs 。 （4）掩埋异质结构激光器 特点：有源区完全被N-AlGaAs包围 三、条形LD中的侧向电流扩展和侧向载流子扩散 条形激光器的侧向电流扩展： 侧向电流扩展：条形接触电极与有源层的pn结之间多数载流子在电子作用下侧向的漂移运动。 （1）理论模型示意图： （2）数理工具和具体推导： 三种引入侧向电流限制机构的异质结激光器 具有双电流限制机构的沟道衬底平面条形激光器 沟道衬底埋层异质结激光器 双沟道衬底埋层异质结激光器 b. 侧向电流限制机构LD示意图： c. 条形激光器中侧向载流子扩散 机理：注入有源层的非平衡少数载流子由中心向两侧所形成的浓度梯度使其产生侧向扩散。 数理工具及结论： 数字工具：浓度扩