传感器应用技术 王倢婷第七章 7-11新.pptVIP

第七章 气敏传感器和湿敏传感器 第一节 气敏传感器 一、气敏传感器的分类 气敏传感器的种类很多，按照其工作机理不同可分为半导体气敏传感器（电阻型和非电阻型）、绝缘体传感器（接触燃烧式和电容式）、电化学式（恒电位电解式、伽伐尼电池式）、红外吸收型传感器等。其中应用较为广泛的是半导体气敏传感器和接触燃烧式气敏传感器。 气敏传感器是一种能够检测环境中某种气体成分和气体浓度的一种器件，它能够将检测到的气体种类和浓度转换为电信号，从而进行检测、监控和报警。 二、常见气敏传感器的原理 半导体气敏传感器是利用气体吸附而使半导体的电导率发生变化的，利用这一原理进行检测的常用金属氧化物半导体主要有SnO2、ZnO、Fe2O3等。 1.SnO2气敏元件 （1）SnO2气敏元件的工作原理 SnO2的熔点为1635℃，性能稳定，不溶于水，具有金红石结构，是一种N型半导体。气敏元件工作时必须加热，其目的是：加速被测气体的吸附、脱出过程，烧去气敏元件的油垢或污物，起清洗作用；控制不同的加热温度，能对不同的被测气体具有选择作用。加热温度与元件输出灵敏度有关，一般200～400℃时灵敏度较高。气敏元件被加热到稳定状态后，在被测气体接触元件的表面被吸附后，元件的电阻值就会产生较大的变化。 二、常见气敏传感器的原理 （2）SnO2气敏元件的结构 1）烧结型SnO2气敏元件 a）芯片结构；b）符号；c）应