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- 2015-12-21 发布于四川
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相移显微干涉技测量薄膜应力梯度方法研究
21
Abstract
thin
films晰tll
Many micrometer／nanometerscaleare
oRenlIsedi11
MEMS／NEMS mechanical of
process．The thethinfilmshave
properties agreat
influenceonthe of
MEMS
performance thethinfilm as
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