等离子体硒化分电沉积cig薄膜及太阳电池制备的研究.pdfVIP

摘要 摘要 转换效率高、抗衰退性能稳定等突出优点。采用电沉积技术制备薄膜，生产成 本低，原材料利用率高，更适合大规模工业化生产，拥有广阔的发展前景。 本论文首先研究了分步法电沉积CIGS预置层薄膜的等离子体硒化工艺，其 目的是通过优化等离子体硒化工艺，获得结晶质量好、成份合适的预置层，并 制备出效率较高的CIGS薄膜电池。本论文通过改变硒化热处理硒源蒸发温度、 衬底温度、等离子体功率、载气成分、工作气压等条件研究等离子体硒化对分 步法电沉积预置层薄膜晶体结构和表面形貌的影响。经研究发现，提高等离子 体硒化硒源温度和衬底温度，CIGS薄膜的衍射峰增强，晶粒尺寸与均匀性都有 所改善。硒化过程中通入氢气与硒蒸气反应生成H2Se，并还原薄膜中h、Ga的 氧化物，促进四元相的生成，以提高薄膜结晶质量。提高辉光功率可以增加等 离子体电子密度，促进硒的裂解，晶粒尺寸增大，择优取向增强。过高的工作 气压减小了到达薄膜表面的活性硒浓度，并因为电子温度的下降而影响Se蒸气 裂解，使得薄膜结晶质量下降，两相分离仍然存在。 为进一步降低CIGS薄膜电池的制备成本，并解决在蒸发制备铝电极过程中 造成电池表面缺陷导致电池效率下降的问