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硕士论文 新型RFMEMS开关电路设计 I I)r111111111 111111)1111)11I lIII 480 摘 要 Y2061 MEMS技术在雷达和通信 近年来，随着微机电系统(MEMS)力H-r-I-_艺的进步，RF 等领域的应用显示了巨大潜力。开关作为射频微波电路的基础级信号控制元件，以其低 插入损耗、高隔离度、小型化和高集成度等相较于传统固态开关的优越性能而成为研究 热点。开关电路作为其组件级应用，随着RFMEMS开关研究愈趋于成熟，其应用市场 正越来越开阔。 本文从RF MEMS开关的研