三氧化钨一维纳结构气敏性能研究.pdfVIP

摘要 人类在创造文明的同时，也在破坏生态环境。工业废气、汽车尾 气、家庭使用的液化石油气、天然气、煤气等有毒性及可燃性气体不 仅严重污染了环境，同时也危害着人类的健康与安全。因此。研制灵 敏度高、选择性好的气敏传感器，对易燃、有毒气体进行监控、检测 和报警就具有十分重要的意义和应用价值。与传统的气敏传感器相 比，基于一维纳米结构的气敏传感器将具有更高的灵敏度和更好的选 择性。 本论文通过简单水热合成方法，以钨酸作为前驱体，在无机盐的 辅助作用下，成功合成横向尺度可控、单分散性好的三氧化钨一维纳 米结构。利用深紫外亚微米光刻工艺、真空镀膜等技术，构筑基于单 根三氧化钨一维纳米结构的纳米气敏传感器模型。引入虚拟仪器的概 念，运用LabVIEW编程，实现计算机自动控制气敏传感器性能测试。 基于单根三氧化钨一维纳米结构的纳米气敏传感器模型，本文系 统研究了三氧化钨一维纳米结构及其在紫外光照射下的电学性能；还 系统研究了室温环境中紫外光激励下02、NH3、C2如OH等分子吸附 对三氧化钨一维纳米结构的电输运性能的影响，得出水热合成的三氧 化钨一维纳米结构对NH3分子吸附具有很好的灵敏度和选择性。在此 基础上，对气敏传感机理进行了讨论。最后对器件构筑及测试过程中