扫描电子显微镜 2.ppt

第四章 扫描电子显微镜 （Scanning Electron Microscopy SEM） 1942年 第一台扫描电子显微镜 60年代 分辨率和图像质量的大大的改善 80年代 广泛应用于医学、生物学等领域 90年代 高分辨型扫描电镜的分辨率0.2nm 扫描电镜与透射电镜结构比较 1 照明系统结构和原理基本相同 都是由电子枪和聚光镜等来完成照明工作 2 SEM 没有中间镜和投影镜，但增加了 二次电子探测器、扫描偏转线圈、显像管等 3 SEM 样品室比 TEM 大，位置不同 4 SEM 与 TEM 真空系统、水冷系统和电源系统 的结构和功能基本相似。 ●如细菌、血细胞、培养细胞的整体形态、大 小、表面突起和细胞间的相互关系 ●消化道、血管等空腔组织的表面结构 ●骨等硬组织形貌以及生物材料的形状结构等 景深长，视野广、图像富有立体感 用于观察组织细胞的表面和断面的形貌 扫描电镜特点 电子枪和透镜： 电子枪产生电子经透镜会聚成电子束（探针） 投射在样品表面(约10nm) 扫描线圈:（偏转线圈） 位于透镜和物镜之间，有两组扫描线圈（在显 像管也有两组）作用是控制电子束在X、Y两个方向规律的运动 样品室: 样品室较大，位于物镜的下方，室内有样品台、二次电子检测器、抽气管道和更换样品的窗口 （一）电子光学系统（镜筒） 1、 电子光学系统（镜筒） 2、 信号检测及显示系统 3、 电源和真空系统 一、扫描电镜的基本结构 第一节 扫描电镜的结构和工作原理 二次电子探测器： 由收集器、闪烁体、光导管和光电倍增管成 二次电子探器是扫描电镜的眼睛，其作用是 收集扫描样品发生的二次电子信号并将它变成显像管的图像信号 显示系统： 显像管及电路组成，将电信号处理成最终影像 (二) 信号检测及显示系统 （三）电源和真空系统 ＆ 电子枪发射电子，经透镜聚焦形成很细 的电子束班（约10nm）称电子探针 ＆ 电子探针打在样品表面，把样品表面原 子外层的电子打落形成 二次电子 （二次电子的产生率主要与样品表面材料的性质及入射角的角度有关，入射角越大，二次电子的发射就越多） 二、扫描电镜的工作成像原理 二次电子信息被收集转换和放大，变成可供观察和拍摄的影像 由于二次电子产生的多少与电子束入射 角度及样品表面的起伏有关，所以在荧光屏 上会得到样品表面形貌的立体图像 生物样品分为二大类: 含水组织 含水量少的组织 第二节 扫描电子显微镜样品制备技术 此类样品一般含有硅质、钙质、角质等成分 表面不易变形和收缩(如毛发、牙齿等) 这类标本处理较简单，只需表面清洁，就可 直接喷镀金属膜进行电镜观察 1、含水量少的硬组织 这类组织在生物样品中占多数 大多数生物组织的含水量都在80%以上 必须对样品进行特殊处理： 经固定、脱水、干燥、镀膜导电等过程 2、另一类是含水量较高的组织 样品制备过程中必须注意的三个关键技术： 1、生物样品观察面的暴露 尽可能暴露出所观察组织的原貌 2、生物样品的干燥 在脱去组织中水分的同时又不引起形态的变形 3、生物样品的导电 使样品具有导电性并能得到清晰的二次电子像 取 材 充分暴露并保护好观察面 ↓ （10mm2×5mm） 清 洗 用生理盐水仔细漂洗观察面 ↓ 固 定 2%戊二醛和1%锇酸固定 ↓ 脱 水 丙酮脱水，醋酸异戊酯置换 ↓ 干 燥 临界点干燥 ↓ 镀 膜 离子溅射镀