《碳化硅凸非球面反射镜的加工与检测-论文》.pdfVIP

第 7卷 第2期 中国光学 V01．7 No．2 2014年 4月 ChineseOptics Apr．2014 文章编号 2095—1531(2014)02-0287-06 碳化硅 凸非球面反射镜的加工与检测 李俊峰 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室，吉林长春130033) 摘要：为了满足凸非球面反射镜加工中的全频段质量控制及光学参数的高精度检验 ，提出了应用双摆轴极坐标快速非球 面加工技术及测杆法控制Hindle法检测光学参数。首先，描述了双摆轴极坐标快速非球面加工技术及设备；然后，介绍 了应用测杆法控制Hindle检测法中标准球面镜顶点分别与被检非球面镜顶点及其焦点的光学间隔，并对其控制精度进 行了分析；最后 ，针对qb158mm的凸非球面，给出了双摆轴加工的检验结果 ，并对检