《锰钴镍氧薄膜热敏型多元红外探测器研制-论文》.pdfVIP

第33卷第4期 红 外 与 毫 米 波 学 报 Vo1．33，No．4 2014年 8月 J．InrfaredMillim ．W aves August，2014 文章编号：1001—9014(2014)04—0359—05 DOI：10．3724／SP．J．1010．2014．00359 锰钴镍氧薄膜热敏型多元红外探测器研制 张雷博，侯 云，周 炜，黄志明，褚君浩 (中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海 200083) 摘要：通过光刻和湿化学腐蚀工艺，成功制作出规格为 2×8的多元锰钴镍氧薄膜红外探测器件．测试表明，室温下 锰钴镍氧薄膜材料负电阻温度系数达 一3．8％K～．10Hz调制频率和 ±15V电压偏置条件下，线列器件典型探测元 黑体响应率为107、，／w，探测率为 2×10cmHz ／W，8元器件响应不均匀度为5．9％．实验结果表 明锰钴镍氧薄膜 焦平面器件制备的可行性，有可能作为新型室温全波段探测器件得到应用． 关 键 词：锰钴镍氧薄膜；热敏材料；线列焦平面 中图分类号：TN21 文献标识码 ：A Developmentofbolometerdetectorarraymadeof M n．Co．Ni．o thin films ZHANG Lei—Bo， HOUYun， ZHOU Wei， HUANG Zhi—Ming， CHUJun—Hao (NationalLaboratoryforInfraredPhysics，ShanghaiInstituteofTechnicalPhysics， ChineseAcademyofSciences，Shanghai200083，China) Abstract：The2×8elementMnCoNiOdetectorarraywassuccessfullyfabricatedwithphotolithographyandwet—chemi— caletchingprocess．Itwasshownthathtenegativetemperaturecoemcientofresistnaceofhtefilm reaches 一3．8％ K atroom temperature．Thetypicalelementofhtefabricateddetectorarrayexhibitsresponsivityofabout107V／W andde— tectivityofabout2×10 cmHz ／W respectively atbiasvoltageof ±15V na dchoppingfrequencyof10Hz．111ere— sponseuniformityofthelineararraybolometersisabout5．9％ ．OurresultsprovedhtefeasibilityofMnCoNiOfilmsfor lineararraybolometerapplications．whichCna possibilitybeusedasnew—typeuncooledbolometerdetectors． KeIvwords：MnCoNiOthinfilm ，bolometermatedal，linera focalplnaearray PACS：07．07．Df，07．07．Mp，O7．57．Kp，85．30．De 传统的MCNO探测器件主要 由高温烧结的体 引言 材料压制而成．由于制备工艺的限制，器件在成品 热敏型非制冷红外探测器 自诞生以来，因其室温