压电惯性马达驱动器及光学指向控制系统开发.pdfVIP

摘要 随着光学系统应用领域的不断扩展，凝结大量研究成果的装备走出实验室、 进入实际应用环境，例如远程高能激光输送系统，空间光通信、高精度激光加工 设备以及测量设备。然而，使用环境中各种动态干扰的影响，如环境温度变化、 大气湍流、灰尘烟雾、以及由各种原因引起的机械振动都会不同程度地影响光学 系统的性能，光学系统的实用化进程受到极大的阻碍。因此，设计出稳定的、高 精度的、可调节的光学指向控制系统是课题设计与研究的意义所在。本文的研究 课题是开发一款压电惯性马达驱动器，并以此为动力驱动压电马达转动，使得镜 架倾斜从而导致光束指向改变，利用位置检测传感器和上位机软件组成一个光束 调节系统，最终完成光束的指向控制。 压电惯性电机是一种靠自身惯性产生冲击实现运动的新型压电电机，具有结 构简单、响应速度快、无电磁干扰、微位移等特点，适用于高分辨率，大行程的 工作场合，该电机在生物、电子、医疗器械、精密加工及精密操作等领域具有广 阔的应用前景。光机电一体化技术已经渗透到各个学科、领域，成为一种新兴的 学科，并逐渐成为一种产业，而这些产业所带来的经济效益越来越受到高度重视。 光束指向稳定控制技术是光机电一体化学科的一个重要研究方向。 课题以压电惯性马达驱动器开发和应用项目为背景，首先列举了项目开发所 要实现的目标和具体内容，分析了总体方案的设计。其次详细介绍了压电惯性马 达的驱动原理，分析了单片机与CPLD综合应用的优势，完成了马达控制器硬件 电路的设计。然后介绍了光学指向控制系统的应用平台及其各个部件的功能和原 理，针对现场的激光光路的分析，给出了调节方式的说明。最后，上位机监控软 件能够实时监视光点坐标，基于光束调节原理，不仅可以带电粗调也可实现闭环 精密调节。 关键词：微型电机，压电惯性马达，逆压电效应，压电驱动器，光束控制，光机 电一体化 Abstract Wichtheextensionof fieldsof with applicationopticalsystems．equiprmnts resukscomeoutofthe intothe a numberofresearch aggregationlarge laboratory suchas laser for envkonmenL systems practicalapplication high-energy long-distance， oflaserand spaceopticalcommunication,highprecisionmachiningequipment kinds disturbancesintheuseofthe measuringequipment．However,rmnyofdynamic asthe ofenvironlmntal environment，suchchange nEchanicalvibrationcausedvarioUS turbulence，dust,smoke，and by sources，rmy influencethe of in of performanceopticalsystemvaryingdegrees．Thepracticability the hasbeen hi