方形孔径平面微透镜阵列地折射率分布研究.pdfVIP

目 录 摘要………………………………………………………I ABSTRACT．．．．．．．．．．．．．…．．．．．．．．．．．．…．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．I 第一章引言…………………………………………………1 1．1梯度折射率光学…………………………………………．1 1．2平面微透镜阵列…………………………………………．3 1．3平面微透镜阵列的研制工艺…………………………………3 1．4异形孔径平面微透镜阵列的发展研究…………………………．4 1．5平面微透镜阵列的应用……………………………………．5 1．6本文研究的主要内容………………………………………8 参考文献…………………………………………………．．9 第二章方形孔径平面微透镜折射率分布理论分析……………………．13 2．1微透镜阵列结构模型……………………………………．．13 2．2微透镜阵列离子扩散规律…………………………………．14 2．3微透镜元离子交换浓度与折射率分布之间的关系………………．．16 2．4离子交换浓度分布的理论推导………………………………17 2．5方形孔径平面微透镜阵列的折射率分布数值模拟………………．．20 2．6方形孔径平面微透镜阵列的折射率分布测试与分析………………23 2．7本章小结………………………………………………27 参考文献…………………………………………………．28 第三章方形孔径平面微透镜阵列的光学性能………………………．．30 3．1成像…………………………………………………．30 3．2数值孔径、焦距、光斑……………………………………31 3．3像差…………………………………………………．33 3．4扩散系数D的测量与计算分析………………………………34 3．5鲁尼伯格球透镜的折射率分布………………………………35 3．6本章小结………………………………………………36 参考文献…………………………………………………．37 第四章总结…………………………………………………38 4．1本文主要内容…………………………………………．．38 4．2本文不足之处…………………………………………．．39 4．3今后的工作方向…………………………………………39 致 谢……………………………………………………．40 攻读硕士期间工作情况…………………………………………41 阳雨大宁坝卜宁1市论又 捅雯 方形孔径平面微透镜阵列的折射率分布 研究 光学专业硕士研究生：陈洁 指导教师：周素梅副教授 摘 要 随着科技的的发展，微型化、轻量化、阵列化、集成化和智能化是光学元器 件发展的方向。伴随着平面微透镜阵列的制作技术同益成熟，通过这种方法制作 的掩埋式平面微透镜阵列，不仅光学性能均匀性好，而且阵列排列整齐。在聚光、 成像、准直、分路、变折方面显示出良好的光学特性；同时由于单元透镜直径小， 密度高，可实现信息的大容量、多通道并行处理。 方形孔径平面微透镜阵列是通过采用离子交换技术制作出的一种密集的、规 则排列的、光性均匀的新型透镜．径向变折射率透镜，这种新的光学微加工技术，实 现了光学元件的尺寸由毫米量级向微米量级的发展，是光学元器件从经典光学发展 到微小光学的重要标志。由于径向变折射率透镜具有焦距短、数值孔径大、尺寸 小、分辩率高和使用方便等特点，在光信息传输、光信息处理、光纤传感和光计算 技术中都有广泛的应用。 本文着重对方形孔径平面微透镜阵列制作中离子交换的基本理论以及折射率 分布规律进行了细致的研究，通过光刻离子交换工艺在特制的玻璃基片上制备出 平面微透镜阵列——方形孔径平面微透镜阵列，其光学填充率可接近100％。我们对 离子交换扩散内在机理进行细致的分析讨论，得到了影响平面微透镜阵列的光学 性能的折射率参数的分布规律，为该类变折射率透镜阵列的制作和应用打下基础。 首先，在